[发明专利]气体粘度测量装置

权利要求书

1.一种气体粘度测量装置，其特征在于，包括通过管路依次连接的储存罐、质量流量控制组件、第一压力表(8)、第一毛细管(12)、第二压力表(15)和第二毛细管(18)，以及与所述第一毛细管(12)并接的第一差压计(10)和与所述第二毛细管(18)并接的第二差压计(17)；所述第一压力表(8)用于测量所述第一毛细管(12)进口端的压力，所述第二压力表(15)用于测量所述第二毛细管(18)进口端的压力；

所述气体粘度测量装置还包括用于使所述第一毛细管(12)内的气体保持恒温的第一恒温槽(11)、用于测量第一毛细管(12)内气体温度的第一热电偶(9)、用于使所述第二毛细管(18)内的气体保持恒温的第二恒温槽(19)和用于测量所述第二毛细管(18)内气体温度的第二热电偶(16)。

2.根据权利要求1所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述质量流量控制组件包括质量流量控制器和针阀(7)，沿气体的流动方向，所述质量流量控制器和所述针阀(7)依次连接于所述管路上。

3.根据权利要求2所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述气体粘度测量装置还包括调压组件，所述调压组件用于稳定所述管路中的气压。

4.根据权利要求3所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述调压组件包括背压阀(20)，沿气体的流动方向，所述背压阀(20)设置于所述第二毛细管(18)和所述第二差压计(17)二者的下游。

5.根据权利要求4所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述调压组件还包括减压阀(6)，所述减压阀(6)设置于所述质量流量控制器和所述针阀(7)之间。

6.根据权利要求5所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述气体粘度测量装置还包括过滤器(5)，所述过滤器(5)连接于所述质量流量控制器和所述减压阀(6)之间。

7.根据权利要求1-6任一项所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述气体粘度测量装置还包括预热组件，所述预热组件包括预热毛细管(14)和预热器(13)，所述预热毛细管(14)连接于所述第一毛细管(12)和所述第二毛细管(18)之间，所述预热器(13)用于加热流经所述预热毛细管(14)的气体。

8.根据权利要求1-6任一项所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述第一毛细管(12)的内径为0.75-1.25mm，所述第二毛细管(18)的内径为0.75-1.25mm，且所述第二毛细管(18)与所述第一毛细管(12)内径相等。

9.根据权利要求8所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述第一毛细管(12)的内径为1mm，所述第二毛细管(18)的内径为1mm。

10.根据权利要求2-6任一项所述的气体粘度测量装置，其特征在于，所述储存罐包括氦气储存罐(1)和待测气体储存罐(2)，所述质量流量控制器包括第一质量流量控制器(3)和第二质量流量控制器(4)；

所述第一质量流量控制器(3)的输入端与所述氦气储存罐(1)连接，所述第一质量流量控制器(3)的输出端与所述针阀(7)连接；所述第二质量流量控制器(4)的输入端与所述待测气体储存罐(2)连接，所述第二质量流量控制器(4)的输出端与所述针阀(7)连接。