[发明专利]基板玻璃缺陷检测方法及装置在审
| 申请号: | 202010131362.X | 申请日: | 2020-02-28 |
| 公开(公告)号: | CN111239161A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
| 发明(设计)人: | 李青;李赫然;吴松江;苏记华;刘丹;张晓宇;尚建威;付冲;李岗 | 申请(专利权)人: | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 金兰 |
| 地址: | 450016 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 缺陷 检测 方法 装置 | ||
1.一种基板玻璃缺陷检测方法,其特征在于,所述基板玻璃缺陷检测方法包括:
将基板玻璃(100)沿其厚度方向均匀地分成N个检测层,N为≥4的自然数并为4的倍数;
设定第1层检测层至第N/4层检测层为所述基板玻璃(100)的第一比对区域,第N/4+1层检测层至第3N/4层检测层设定为所述基板玻璃(100)的第二比对区域,第3N/4+1层检测层至第N层检测层设定为所述基板玻璃(100)的第三比对区域;
对所述基板玻璃(100)的缺陷位置处的各检测层进行图像采集;
对所采集的图像进行识别,并通过将其与所对应的对比区域的标准缺陷尺寸进行比对,以判断是否符合标准。
2.根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测方法,其特征在于,所述对所述基板玻璃(100)的缺陷位置处的各检测层进行图像采集包括:通过图像采集设备的变焦来实现对N个检测层的分别检测。
3.根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测方法,其特征在于,所述基板玻璃(100)的厚度为0.4mm或0.8mm,N为4,或N为8,或N为16。
4.根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测方法,其特征在于,所述第一比对区域的标准缺陷尺寸为不大于0.02mm,所述第二比对区域的标准缺陷尺寸为不大于0.05mm,所述第三比对区域的标准缺陷尺寸为不大于0.1mm。
5.一种基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述基板玻璃检测装置可根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测方法对所述基板玻璃(100)进行缺陷检测,其包括控制单元、用于对所述基板玻璃(100)的缺陷位置进行图像采集的可变焦的摄像单元;
所述摄像单元包括驱动部(21)、可移动的物侧透镜(22)、固定设置的摄像单元本体(23)、以及与所述摄像单元本体(23)固定连接的像侧透镜(24),所述驱动部(21)根据所述控制单元发送的控制指令驱动所述物侧透镜(22)沿其中心线方向移动,以实现对所述缺陷位置处N个检测层的聚焦及图像采集;
所述控制单元用于对所述摄像单元所采集的图像进行识别,并通过将其与所对应的对比区域的标准缺陷尺寸进行比对,以判断是否符合标准。
6.根据权利要求5所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述基板玻璃缺陷检测装置还包括用于对所述基板玻璃(100)的缺陷位置进行照明的光源(4),所述光源(4)的中心线与所述物侧透镜(22)的中心线重合,以使所述光源(4)发射出的光束沿所述摄像单元的图像采集路径(A)射向所述缺陷位置。
7.根据权利要求6所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述光源(4)选用LED发光二极管,以发射出波长在400-800nm之间、光束发散性为37°且辐射面积大于10mm2的可见光。
8.根据权利要求5所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述基板玻璃缺陷检测装置还包括测距单元(3),所述测距单元(3)用于测量该检测装置与所述基板玻璃(100)之间的距离,所述控制单元用于根据所述测距单元(3)测得的距离信息控制所述摄像单元聚焦在所述基板玻璃(100)的缺陷位置处靠近该检测装置的一面。
9.根据权利要求8所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述测距单元(3)包括激光发射器、以及用于接收从该激光发射器射出并经所述缺陷位置处靠近该检测装置的一面反射的激光的光电接收器。
10.根据权利要求5所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述摄像单元还包括第一反射机构(25)和第二反射机构(26),所述物侧透镜(22)的中心线用于与所述基板玻璃(100)平行,所述像侧透镜(24)的中心线用于与所述基板玻璃(100)垂直,所述第一反射机构(25)用于将所述缺陷位置的图像信息反射至所述物侧透镜(22),所述第二反射机构(26)用于将所述物侧透镜(22)接收的所述图像信息反射至所述像侧透镜(24)。
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