[发明专利]一种氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法

权利要求书

1.一种氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）泡沫镍基底的清洗：将泡沫镍依次用自来水、丙酮、稀盐酸、蒸馏水超声清洗干净并烘干；

（2）制备钴镍前驱体：将一定量的硝酸钴、硝酸镍和尿素溶于去离子水，搅拌至充分溶解后倒入反应釜内，放入泡沫镍，密封，水热反应一段时间后依次用去离子水和无水乙醇冲洗干净并自然凉干得到钴镍前驱体；

（3）制备硫化钴镍：将钴镍前驱体放入硫化钠溶液中，密封，水热反应一段时间后依次用去离子水和无水乙醇冲洗干净并自然凉干得到硫化钴镍；

（4）将制备得到的硫化钴镍等离子体化学气相沉积系统的腔体内，调节腔体内压强和温度，并施加氨气等离子体，经气相沉积即可制备得到硫化钴镍超级电容器电极。

2.根据权利要求1所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，步骤（2）中硝酸钴、硝酸镍、尿素的摩尔比范围为1:1-2:3.5-6，所述的尿素还可替换为氟化铵。

3.根据权利要求2所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，步骤（2）的水热反应温度为100-140℃，水热反应时间为5~10h。

4.根据权利要求3所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，硫化钠溶液浓度为0.05~0.3mol/L。

5.根据权利要求4所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，步骤（3）的水热反应温度为100-140℃，水热反应时间为5~10h。

6. 根据权利要求5所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，等离子体化学气相沉积系统的腔体内压强调节为10^-4 -10^-3Pa，腔体内温度调节为150-350℃。

7.根据权利要求6所述的氨气等离子体增强硫化钴镍超级电容器性能的方法，其特征在于，通入氨气的流量为10-30sccm，时间为5-30min，温度为150-350℃，溅射功率为100-400W，溅射压强为40-80Pa。