[发明专利]超细气泡生成装置以及超细气泡生成方法

说明书

本发明提供一种超细气泡生成装置以及超细气泡生成方法。本发明提供一种超细气泡生成装置，其通过使设置在液体中的加热器生成热以生成膜沸腾，从而生成超细气泡，该超细气泡生成装置包括：元件基板，其包括：第一加热器，其在液体中生成膜沸腾；以及与第一加热器邻接配置的第二加热器，其中以不同的时机驱动第一加热器和第二加热器。

技术领域

本发明涉及生成直径小于1.0μm的超细气泡的超细气泡生成装 置和超细气泡生成方法。

背景技术

近来，已经开发出用于应用微细气泡(例如直径为微米尺寸的微 气泡和直径为纳米尺寸的纳米气泡)的特征的技术。尤其是，在各个 领域中，已经确认了直径小于1.0μm的超细气泡(以下也称为“UFB”) 的实用性。

日本专利第6118544号公开了一种微细气泡生成装置，该细微气 泡生成装置通过从减压喷嘴喷射将气体加压并溶解的加压液体来生成 微细气泡。日本专利第4456176号公开了一种通过利用混合单元重复 进行气体混合液流的分离和会聚而生成细微气泡的装置。

发明内容

根据本发明的一个方面的超细气泡生成装置是一种超细气泡生成 装置，其通过使设置在液体中的加热器生成热以生成膜沸腾，从而生 成超细气泡，该超细气泡生成装置包括元件基板，该元件基板包括：第 一加热器，其在液体中生成膜沸腾，和第二加热器，其与第一加热器 邻接配置，其中，第一加热器和第二加热器在不同的时机被驱动。

通过以下参考附图对示例性实施方案的描述，本发明的进一步的 特征将变得明显。

附图说明

图1是表示UFB生成装置的示例的图。

图2是预处理单元的示意性构成图。

图3A和图3B是溶解单元的示意性构成图和用于说明液体中溶解 状态的图。

图4是T-UFB生成单元的示意性构成图。

图5A和图5B是用于说明加热元件的细节的图。

图6A和图6B是用于说明加热元件上的膜沸腾的状态的图。

图7A至图7D是表示由膜沸腾气泡的膨胀引起的UFB的生成状态 的图。

图8A至图8C是表示由膜沸腾气泡的收缩引起的UFB的生成状态 的图。

图9A至图9C是表示由液体的再加热引起的UFB的生成状态的图。

图10A和图10B是表示由膜沸腾生成的气泡消失而生成的冲击波 引起的UFB的生成状态的图。

图11A至图11C是表示后处理单元的构成例的图。

图12A至图12D是用于说明元件基板的布局的图。

图13A至图13D是用于说明元件基板的布局的图。

图14A至图14D是截面图和用于说明驱动时机的图。

图15是表示改变移位加热器的驱动时机的示例的图。

图16A至图16C是用于说明元件基板的布局和驱动时机的图。和

图17A至图17D是用于说明元件基板的布局的图。

具体实施方式

日本专利第6118544号和第4456176号中说明的装置两者不仅生 成直径为纳米尺寸的UFB，而且生成相对大量的直径为毫米尺寸的毫 气泡(milli-bubble)和直径为微米尺寸的微气泡。但是，由于毫气 泡和微气泡受到浮力的影响，因此在长时间储存期间，气泡易于逐渐 上升到液面并消失。