[发明专利]环形探针及组合式探针

权利要求书

1.一种环形探针，其特征在于，包括限位机构(1)以及均用于与电源连接的第一收集极(2)和导电组件(3)；

所述导电组件(3)套设于所述限位机构(1)的外部，且所述导电组件(3)具有安装通道；

所述第一收集极(2)位于所述安装通道内，且所述第一收集极(2)与所述导电组件(3)之间设有绝缘层(4)，所述第一收集极(2)具有用于收集流场离子的带状收集面。

2.根据权利要求1所述的环形探针，其特征在于，所述导电组件(3)包括第一导电套(31)和第二导电套(32)，所述第一收集极(2)夹设于所述第一导电套(31)和所述第二导电套(32)之间；

所述第一收集极(2)与所述第一导电套(31)之间、所述第一收集极(2)与所述第二导电套(32)之间均设有所述绝缘层(4)。

3.根据权利要求1所述的环形探针，其特征在于，所述限位机构(1)包括固定座(11)和压紧组件(12)，所述第一收集极(2)和所述导电组件(3)均套设于所述固定座(11)外部，所述压紧组件(12)与所述固定座(11)连接，以将所述第一收集极(2)和所述导电组件(3)压紧在所述固定座(11)上。

4.根据权利要求3所述的环形探针，其特征在于，所述压紧组件(12)包括绝缘端盖(121)和紧固件(122)，所述绝缘端盖(121)套设于所述固定座(11)外部，所述紧固件(122)贯穿所述绝缘端盖(121)与所述固定座(11)连接。

5.根据权利要求3所述的环形探针，其特征在于，所述限位机构(1)还包括连接组件(13)，所述连接组件(13)贯穿所述固定座(11)与所述导电组件(3)以及所述第一收集极(2)连接，所述连接组件(13)还用于与所述电源连接。

6.一种组合式探针，其特征在于，包括用于与所述电源连接的第二收集极(5)以及如权利要求1－5任一项所述的环形探针；

所述第二收集极(5)至少部分与所述限位机构(1)具有一体式结构，且所述第二收集极(5)具有用于收集流场离子的收集端面；

或者所述第二收集极(5)与所述限位机构(1)连接，且所述第二收集极(5)具有用于收集流场离子的发射灯丝(51)。

7.根据权利要求6所述的组合式探针，其特征在于，当所述第二收集极(5)具有所述收集端面时，所述第二收集极(5)包括均用于与所述电源连接的平面探针(52)和保护环(53)；

所述保护环(53)套设于所述平面探针(52)的外部，且所述保护环(53)形成用于容纳所述平面探针(52)端部的凹腔；

所述平面探针(52)与所述限位机构(1)具有一体式结构，且沿着所述保护环(53)的径向，所述平面探针(52)的端部与所述保护环(53)之间具有空隙；

沿着所述保护环(53)的轴向，所述保护环(53)与所述平面探针(52)之间夹设有第一隔离件(54)。

8.根据权利要求7所述的组合式探针，其特征在于，所述限位机构(1)与所述保护环(53)之间通过锁紧件(6)连接。

9.根据权利要求6所述的组合式探针，其特征在于，当所述第二收集极(5)具有所述发射灯丝(51)时，所述发射灯丝(51)贯穿所述限位机构(1)，且所述发射灯丝(51)弯折设置，所述发射灯丝(51)的弯折端伸出所述限位机构(1)用于收集流场离子，所述发射灯丝(51)的末端伸出所述限位机构(1)用于与电源连接。

10.根据权利要求9所述的组合式探针，其特征在于，所述发射灯丝(51)与所述限位机构(1)之间具有填充层(7)，所述填充层(7)用于固定所述限位机构(1)内的发射灯丝(51)。