[发明专利]传感器模块、传感器系统及惯性传感器的异常判定方法

权利要求书

1.一种传感器模块，其特征在于，具备：

惯性传感器；

模式设定部，将动作模式设定为包含物理量测量模式和共振频率测量模式的多个动作模式中的任一个；

存储部，存储第一时间点的所述惯性传感器的检测轴方向上的结构共振频率；

共振频率测量部，在所述共振频率测量模式中，基于所述惯性传感器的输出信号，测量第二时间点的所述惯性传感器的检测轴方向上的所述结构共振频率；

异常判定部，在所述共振频率测量模式中，在所述惯性传感器的灵敏度的变化量超过所述惯性传感器的允许范围并且所述第一时间点的所述结构共振频率以及所述第二时间点的所述结构共振频率偏离了预定值的情况下，判定为所述惯性传感器异常；以及

物理量测量部，在所述物理量测量模式中，将所述惯性传感器的所述输出信号转换为物理量的检测值，

所述第一时间点是在所述传感器模块的制造时、设置时测量所述结构共振频率的时间点，

所述共振频率测量部测量所述惯性传感器的输出信号的每一频率的强度，并将强度为最大的第一频率设为所述第二时间点的所述结构共振频率，

所述异常判定部在所述第一频率与强度为最小的第二频率的比小于预定值的情况下判定为所述惯性传感器异常。

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述惯性传感器具有可动部、固定部、将所述可动部与所述固定部相连的接头部以及与所述固定部及所述可动部接合的物理量检测元件，所述接头部为水晶。

3.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

所述传感器模块具备灵敏度调整部，所述灵敏度调整部根据所述第二时间点的所述结构共振频率来调整物理量的检测灵敏度。

4.一种传感器系统，其特征在于，包括：

权利要求1至3中任一项所述的传感器模块；以及

处理装置，进行基于所述传感器模块的输出信号的处理。

5.一种惯性传感器的异常判定方法，其特征在于，包括：

模式设定工序，将动作模式设定为包含物理量测量模式和共振频率测量模式的多个动作模式中的任一个；

共振频率获取工序，获取存储在存储部中的第一时间点的惯性传感器的检测轴方向上的结构共振频率；

共振频率测量工序，在所述共振频率测量模式中，基于所述惯性传感器的输出信号，测量第二时间点的所述惯性传感器的检测轴方向上的所述结构共振频率；

异常判定工序，在所述共振频率测量模式中，在所述惯性传感器的灵敏度的变化量超过所述惯性传感器的允许范围并且所述第一时间点的所述结构共振频率以及所述第二时间点的所述结构共振频率偏离了预定值的情况下判定为所述惯性传感器异常；以及

物理量测量工序，在所述物理量测量模式中，将所述惯性传感器的所述输出信号转换为物理量的检测值，

所述第一时间点是在所述惯性传感器的制造时、设置时测量所述结构共振频率的时间点，

在所述共振频率测量工序中，测量所述惯性传感器的输出信号的每一频率的强度，并将强度为最大的第一频率设为所述第二时间点的所述结构共振频率，

在所述异常判定工序中，在所述第一频率与强度为最小的第二频率的比小于预定值的情况下判定为所述惯性传感器异常。