[发明专利]一种柔性显示面板及其制备方法有效
| 申请号: | 202010099021.9 | 申请日: | 2020-02-18 |
| 公开(公告)号: | CN111146266B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 周思思 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种柔性显示面板,具有显示区域和围绕所述显示区域的非显示区域;其特征在于,所述柔性显示面板包括:
基板;
形成在所述基板上并对应所述显示区域的薄膜晶体管层;
形成在所述基板上并对应所述非显示区域的图案化的金属膜层;
形成在所述薄膜晶体管层的远离所述基板的一侧的至少一平坦化层;
形成在所述平坦化层上且对应所述金属膜层区域的凹槽;以及
形成在所述凹槽内并向所述金属膜层方向延伸的有机保护层,所述有机保护层包覆所述金属膜层的边缘。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管层包括至少一薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括源/漏电极;所述金属膜层包括电源线,其中,所述电源线与所述源/漏电极形成在同一层上。
3.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述有机保护层自所述金属膜层的边缘向所述金属膜层内侧方向延伸至少1um。
4.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板还包括:
形成在所述平坦化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧,且电连接到所述薄膜晶体管层的有机发光层;以及
形成在所述有机发光层的远离所述平坦化层的一侧的薄膜封装层。
5.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板还包括:形成在所述凹槽内并具有至少一部分接触所述金属膜层的挡墙单元,所述有机保护层形成在所述挡墙单元的两侧。
6.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述柔性显示面板具有显示区域和围绕所述显示区域的非显示区域;所述制备方法包括如下步骤:
提供一基板;
在所述基板的一侧制备一薄膜晶体管层及一图案化的金属膜层,其中,所述薄膜晶体管层与所述显示区域对应,所述金属膜层与所述非显示区域对应;
在所述薄膜晶体管层的远离所述基板的一侧制备至少一平坦化层;以及
在所述平坦化层上对应所述金属膜层区域形成一凹槽,并在所述凹槽内制备一有机保护层,其中,所述有机保护层向所述金属膜层方向延伸并包覆所述金属膜层的边缘。
7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述薄膜晶体管层包括至少一薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括源/漏电极;所述金属膜层包括电源线,其中,所述电源线与所述源/漏电极形成在同一层上。
8.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述平坦化层采用有机材料制成,所述的在所述平坦化层上对应所述金属膜层区域形成一凹槽,并在所述凹槽内制备一有机保护层的步骤包括:图案化所述平坦化层,以在对应所述金属膜层区域形成所述凹槽,并保留一部分所述平坦化层的有机材料,形成向所述金属膜层方向延伸并包覆所述金属膜层的边缘的所述有机保护层。
9.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述有机保护层自所述金属膜层的边缘向所述金属膜层内侧方向延伸至少1um。
10.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在所述凹槽内制备一挡墙单元,所述挡墙单元至少一部分接触所述金属膜层,其中,所述有机保护层形成在所述挡墙单元的两侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





