[发明专利]光阻剥离装置及光阻剥离方法

权利要求书

1.一种光阻剥离装置，其特征在于，包括:

传送带，用以承载并传送一待剥离光阻层的基板；

储液槽，存储剥离液，具有一排液口；

过滤装置，包括一滤芯，所述滤芯具有MOF材料，所述过滤装置连接所述储液槽，所述MOF材料在可见光的环境下用以吸附所述剥离液中的溶解氧；

照明装置，用以照明所述过滤装置；

剥离槽，设于所述储液槽以及所述过滤装置的上方，其具有一入口、出口、第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以接收来自过滤装置的剥离液并喷洒所述基板，所述第二连接孔连接所述储液槽，用以回收所述剥离液；所述剥离槽还包括：多个喷头，阵列式地设于所述玻璃槽的顶端，通过所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以将所述剥离液喷洒至所述光阻层上；风刀，设于所述出口侧，用以去除所述基板上的剥离液；

其中，所述传送带贯穿所述出口以及所述入口。

2.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于，

所述过滤装置还包括加热装置，用以加热所述滤芯，将所述MOF材料吸附的氧气释放。

3.根据权利要求2所述的光阻剥离装置，其特征在于，

所述过滤装置还包括冷却装置，用以消耗所述加热装置产生的热量，维持所述过滤装置稳定的温度环境。

4.根据权利要求2所述的光阻剥离装置，其特征在于，

所述加热装置包括紫外线灯；和/或

所述照明装置包括白炽灯；和/或

所述过滤装置通过一泵连接所述储液槽。

5.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于，

所述剥离槽的底部的截面为等腰三角形，所述第二连接孔设于所述底部的中心。

6.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于，还包括

真空装置，用以使所述剥离槽抽真空。

7.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于，

所述剥离槽具有一管道，所述管道贯穿所述剥离槽底部，所述管道连接所述过滤装置。

8.一种光阻剥离方法，其特征在于，包括：

提供待去除光阻层的基板以及如权利要求1～7任一项所述的光阻剥离装置；

将所述基板传送至所述入口；

通过所述泵抽取所述剥离液输送至所述过滤装置中，打开照明装置，所述剥离液与所述滤芯反应，所述剥离液中的溶解氧被吸附；

将过滤好的剥离液输送至所述剥离槽的喷头，并对所述光阻层进行喷洒并进行剥离；

剥离结束后，用风刀移除残留的光阻剥离液，将所述基板从所述出口移出。

9.根据权利要求8所述的光阻剥离方法，其特征在于，

在将所述基板传送至所述入口，采用紫外线灯照射所述待去除的光阻层步骤之前包括：

打开泵，吸取所述剥离液送入所述过滤装置中，并打开照明装置；

将过滤好的剥离液通过所述管道输送至所述剥离槽内，经底部回流至所述剥离槽中。

10.根据权利要求8所述的光阻剥离方法，其特征在于，还包括：

打开所述加热装置，加热所述滤芯，将所述MOF材料吸附的氧气释放。