[发明专利]半导体装置在审
| 申请号: | 202010074732.0 | 申请日: | 2020-01-22 |
| 公开(公告)号: | CN112310053A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 川城史义 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/12;H01L23/367;H01L21/50 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘英华 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,具备:
第1基体部件,具有第1侧面;
第1绝缘板,设置于上述第1基体部件的上方;
第1金属板,设置于上述第1绝缘板的上方;
第1半导体芯片,设置于上述第1金属板的上方;
第1接合部件,将上述第1金属板与上述第1半导体芯片接合;
第2接合部件,将上述第1基体部件与上述第1绝缘板接合;
第2基体部件,具有第2侧面;
第2绝缘板,设置于上述第2基体部件的上方;
第2金属板,设置于上述第2绝缘板的上方;
第2半导体芯片,设置于上述第2金属板的上方;
第3接合部件,将上述第2金属板与上述第2半导体芯片接合;
第4接合部件,将上述第2基体部件与上述第2绝缘板接合;以及
基体接合部,设置于上述第1侧面与上述第2侧面之间,将上述第1侧面与上述第2侧面接合。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
上述基体接合部通过上述第1侧面与上述第2侧面之间的摩擦滑动接合而形成。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
上述基体接合部包含设置于上述第1侧面与上述第2侧面之间的树脂,
上述第1侧面与上述第2侧面通过上述树脂而接合。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,
在上述第1基体部件及上述第2基体部件各自之上,未设置多个绝缘板。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,
上述第1接合部件、上述第2接合部件、上述第3接合部件及上述第4接合部件是焊料,
上述第1接合部件的第1熔点比上述第2接合部件的第2熔点高,
上述第3接合部件的第3熔点比上述第4接合部件的第4熔点高。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,
上述第1接合部件、上述第2接合部件、上述第3接合部件及上述第4接合部件是焊料,
上述第1接合部件的第1熔点与上述第2接合部件的第2熔点相等,
上述第3接合部件的第3熔点与上述第4接合部件的第4熔点相等。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,
上述第1接合部件或上述第3接合部件包含具有导电性的烧结部件。
8.根据权利要求7所述的半导体装置,其中,
上述第2接合部件或上述第4接合部件包含具有导电性的烧结部件。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,还包括:
第5接合部件,设置于上述第1半导体芯片的上方,包含具有导电性的烧结部件;
第3金属板,设置于上述第5接合部件的上方,通过上述第5接合部件而与上述第1半导体芯片接合;以及
引线,设置于上述第3金属板的上方,与上述第3金属板连接,包含铜。
10.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其中,
上述第1半导体芯片及上述第2半导体芯片包含化合物半导体。
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