[发明专利]导电性流体用喷头在审
| 申请号： | 202010070250.8 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112495602A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 小池大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电性 流体 喷头 | ||
【权利要求书】：
1.一种导电性流体用喷头，
在中央具备第1喷嘴；
在上述第1喷嘴的外侧具备多个第2喷嘴；
在上述第1喷嘴及上述第2喷嘴的流体出口侧具备凹型的流体保持容器；
上述第2喷嘴比上述第1喷嘴向上述流体出口侧突出50μm以上150μm以下。
2.如权利要求1所述的导电性流体用喷头，
上述第2喷嘴配置在以上述第1喷嘴为中心的圆周上。
3.如权利要求1或2所述的导电性流体用喷头，
上述流体保持容器具有截锥体形状；
上述流体保持容器的上表面的中央位于上述第1喷嘴的前端的中心。
4.如权利要求1或2所述的导电性流体用喷头，
上述流体保持容器具有截锥体形状；
上述截锥体形状的斜边与底面所成的角度是0度以上60度以下。
5.如权利要求1或2所述的导电性流体用喷头，
上述第2喷嘴的前端是具有斜着的切口的圆筒形的喷嘴；
上述流体保持容器具有截锥体形状；
上述截锥体形状的斜边沿着具有上述斜着的切口的第2喷嘴的前端。
6.如权利要求1或2所述的导电性流体用喷头，
上述流体保持容器的中央的高度是H1；
上述流体保持容器的边缘侧的高度是H2；
H1和H2满足0≤(H1－H2)/H1≤1。
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