[发明专利]高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法在审
| 申请号： | 202010064738.X | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111238773A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李大伟;胡晨璐;刘晓凤;赵元安;连亚飞;朱美萍;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01J1/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分辨 激光 输出功率 变化 监测 装置 方法 | ||
1.一种高分辨激光输出功率变化量监测装置，其特征在于，包括斩波器(1)、第一光电探测器(2)、第二光电探测器(3)、楔形片(4)和锁相放大器(5)，沿激光输出方向依次是所述的斩波器(1)和楔形片(4)，在所述的楔形片(4)的前表面的反射光方向设置所述的第一光电探测器(2)，在所述的楔形片(4)的后表面的反射光方向设置所述的第二光电探测器(3)，所述的第一光电探测器(2)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第一输入端(5-1)相连，所述的第二光电探测器(3)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第二输入端(5-2)相连，所述的斩波器(1)的同步信号输出端与所述的锁相放大器(5)的参考信号输入端(5-3)相连。
2.利用权利要求1所述的高分辨激光输出功率变化量监测装置对激光输出功率变化量的测量方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
1)在锁相放大器(5)的“SIGNAL INPUT”区域按“Input”按钮，选中“A-B”档，使得锁相放大器(5)处于差分运算的工作模式下，输出差分信号；
2)在激光照射方向依次安装所述的斩波器(1)和楔形片(4)，当激光脉冲照射到该楔形片(4)时，会分别在前、后表面产生反射，在其前表面产生的反射光的方向处安装所述的第一光电探测器(2)；在其后表面产生的反射光的方向处安装所述的第二光电探测器(3)，第一光电探测器(2)输出端连接所述的锁相放大器(5)的第一输入端(5-1)；第二光电探测器(3)的输出端连接所述的锁相放大器(5)的第二输入端(5-2)，所述的斩波器(1)输出端连接所述的锁相放大器(5)的参考信号输入端(5-3)，对待测的高分辨激光束进行测量，锁相放大器(5)输出信号为S；
3)根据锁相放大器(5)输出信号S与激光输出功率P成线性关系，锁相放大器(5)输出信号S的波动，观测到激光输出功率P的波动，若S的值保持稳定，则激光输出功率P也保持稳定。
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