[发明专利]一种制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法

权利要求书

1.一种制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

首先选取平滑的4cmx4cm规格表面平滑的石英玻璃片，用丙酮、乙醇和纯水依次进行超声清洗，烘干冷却后，在石英玻璃片朝上的一面旋涂一层10μm厚的AZ4562正光刻胶，110℃温度下前烘并冷却，接着将涂覆AZ4562正光刻胶的石英玻璃片置于刻有图案、玻璃材质、厚度为3mm的镀铬掩膜版下，使用波长约为365nm的紫外光曝光；将石英玻璃片浸没在浓度2.14％的AZ400K显影液中显影并去除曝光的正光刻胶，纯水清洗并用氮气吹干石英玻璃片，获得所需滤波器结构凹槽；接着在用1g铜蒸镀一层400-500nm厚的金属种子层在石英玻璃片正胶表层及凹槽表面；接着将石英玻璃片浸没在20％浓度的(NH₄)₂S₂O₈溶液中去除石英玻璃片表层金属及少量凹槽表面金属；纯水清洗，氮气吹干后将石英玻璃片浸没在AZ400T去胶剂中去除剩余正胶，获得周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构。

2.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，在清洗过后的石英玻璃片朝上的一面涂覆10μm后的AZ4562正光刻胶,并在110℃温度下前烘并冷却。

3.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，将涂覆AZ4562正光刻胶的石英玻璃片置于刻有图案、玻璃材质、厚度为3mm的镀铬掩膜版下，使用波长约为365nm的紫外光曝光。

4.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，曝光后的石英玻璃片浸没在浓度2.14％的AZ400K显影液中显影并去除曝光的正光刻胶，得到所需滤波器结构凹槽。

5.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，蒸镀1g铜得到一层400-500nm厚的金属种子层在石英玻璃片正胶表层及凹槽表面。

6.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，蒸镀后的石英玻璃片浸没在20％浓度的(NH₄)₂S₂O₈溶液中去除石英玻璃片表层金属及少量凹槽表面金属。

7.根据权利要求1所述的制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法，其特征在于，除金属层后的石英玻璃片浸没在AZ400T去胶剂中以去除剩余正胶，获得周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构。