[发明专利]一种基于光学玻璃的非线性光学反射镜及其制备方法和应用

权利要求书

1.基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，该非线性光学反射镜包括光学玻璃基底，所述的光学玻璃表面注入银离子形成银纳米颗粒阵列，并在注入面镀有高反膜。

2.根据权利要求1所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，所述的银纳米颗粒阵列为周期性银纳米阵列。

3.根据权利要求1所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，所述的银纳米颗粒阵列的分布深度范围为1-200nm，半径尺寸大小范围为5-30nm，颗粒间距小于5nm。

4.根据权利要求1所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，所述的高反膜在基底一侧测量得到的反射率≥95％。

5.根据权利要求1所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，所述的光学玻璃为BK7或K9玻璃。

6.根据权利要求1所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，其特征在于，所述的高反膜结构为MP(LH)^NLS结构，其中M为金属薄膜Cu，P为顶层介电材料层TiO₂，(LH)^NLS为截断全介质光子学晶体,L为SiO₂,H为TiO₂，N为周期性12，S为光学玻璃。

7.权利要求1-6任一项所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜的制备方法，包括步骤如下：

(1)以光学玻璃为基底，进行表面抛光、清洗，得到抛光面；

(2)对抛光面注入银离子；注入能量为50-300千电子伏特(keV)，注入剂量为(5-20)×10¹⁶ions/cm²；在注入面下形成银纳米颗粒阵列；

(3)在注入面镀高反膜，透过基底测得的反射率为95-100％，即得。

8.根据权利要求7所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中注入能量为150-200千电子伏特(keV)，注入剂量为(10-15)×10¹⁶ions/cm²。

9.权利要求1-6任一项所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜应用于谐振腔调制激光脉冲信号。

10.一种基于光学玻璃的非线性光学反射镜的1微米脉冲激光器，包括使用权利要求1-6任一项所述的基于光学玻璃的非线性光学反射镜，包括沿光路顺次连接的LD泵浦源、耦合系统、谐振腔，所述的谐振腔包括沿光路顺次连接的入射腔镜、增益介质、第一反射镜、输出耦合器、色散补偿镜、第二反射镜、非线性光学反射镜。