[发明专利]一种电镀用镀铜后水洗水的回用方法及其回用装置

权利要求书

1.一种电镀用镀铜后水洗水的回用方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将镀铜后水洗水通过第一增压泵抽到反应沉淀池进行反应沉淀，所述反应沉淀槽配有PH自动调节系统和ORP自动加药系统，所述反应沉淀槽还能够监测反应沉淀槽内沉淀物的沉淀量，所述沉淀物排放至污水处理站，其余液体通过第二增压泵泵至DF膜进行过滤；

(2)经过DF膜过滤后的液体流至中间水箱；所述中间水箱内的液体通过第三增压泵泵进一级反渗透系统进行再次过滤；

(3)通过一级反渗透系统过滤后所形成的浓缩水排至污水处理站，其余液体经过二级反渗透系统进行第三次过滤；

(4)通过二级反渗透系统过滤后的浓缩水排至所述中间水箱，其余液体排至活化后水洗池进行镀铜后水洗水的回用。

2.根据权利要求1所述的电镀用镀铜后水洗水的回用方法，其特征在于，所述PH自动调节系统和ORP自动加药系统用于调节水洗水PH值及氧化物含量。

3.根据权利要求1或2所述的电镀用镀铜后水洗水的回用方法，其特征在于，所述中间水箱起缓冲作用，用于调节DF膜和反渗透系统间处理水量差异。

4.根据权利要求3所述的电镀用镀铜后水洗水的回用方法，其特征在于，所述水洗水经过一级反渗透系统和二级反渗透系统过滤后的出水满足电导率小于20μs/cm的生产线纯水用水水质要求。

5.一种电镀用镀铜后水洗水的回用装置，其特征在于，包括多个镀铜水洗池，至少三个增压泵，配有PH自动调节系统和ORP自动加药系统的反应沉淀池，DF膜，中间水箱，一级反渗透系统，二级反渗透以及多个连接管；所述电镀用镀铜后水洗水的回用装置是根据如权利要求1-4之一所述的电镀用镀铜后水洗水的回用方法进行电镀用镀铜后水洗水的回用。