[发明专利]固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备有效
| 申请号: | 202010003342.4 | 申请日: | 2020-01-02 |
| 公开(公告)号: | CN111156883B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 党景涛;左宁;甄万财;高慧莹 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
| 主分类号: | G01B5/252 | 分类号: | G01B5/252 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 李青 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固定 装置 使用 空心 柱状 器件 测试 设备 | ||
1.一种固定装置,其特征在于,所述固定装置用于固定空心柱状器件,所述固定装置包括卡盘和放置板,所述卡盘的活动卡爪的数量为多个;所述放置板与所述卡盘固定连接,所述放置板用于放置空心柱状器件,所述放置板设置有多个沿所述卡盘的径向延伸的导向孔,所述导向孔的位置与所述活动卡爪的位置一一对应,所述活动卡爪能够在所述导向孔中往复运动,且所述活动卡爪能够与所述空心柱状器件的内表面抵接;
还包括基座,所述基座包括顶板,所述顶板上设置有定位柱;
所述基座的上表面设置有多个用于安装所述放置板的安装位,所述放置板的上表面与所述基座的上表面在同一平面内。
2.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述活动卡爪上设置有外撑部,所述外撑部与所述活动卡爪可拆卸连接,所述外撑部能够在所述导向孔中往复运动,且所述外撑部能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。
3.根据权利要求2所述的固定装置,其特征在于,所述外撑部包括连接部和外撑爪,所述连接部的下表面与所述活动卡爪固定连接,所述连接部的上表面与所述外撑爪固定连接;所述外撑爪能够在所述导向孔中往复运动,且所述外撑爪能够与所述空心柱状器件的内表面抵接。
4.根据权利要求3所述的固定装置,其特征在于,所述外撑爪呈阶梯状,且所述外撑爪具有横向台阶面和纵向台阶面,所述纵向台阶面能够与所述空心柱状器件的内表面抵接;所述横向台阶面能够位于所述放置板的下方。
5.根据权利要求3所述的固定装置,其特征在于,所述连接部包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板的下表面设置有凹槽,所述活动卡爪限位于所述凹槽中,且所述第一连接板与所述活动卡爪固定连接;所述第二连接板位于所述第一连接板的上方,所述第二连接板与所述第一连接板固定连接,所述外撑爪与所述第二连接板固定连接。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的固定装置,其特征在于,所述放置板的形状为圆形,所述放置板的上表面设置有定位刻度线,所述定位刻度线指向所述放置板的圆心;所述定位刻度线用于与空心柱状器件的周向表面的对位缺口对准。
7.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,多个所述安装位呈矩形阵列排布或多个所述安装位呈圆形阵列排布。
8.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述卡盘位于所述放置板的下方,且所述卡盘与所述基座的底板固定连接。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的固定装置,其特征在于,所述卡盘的活动卡爪的数量不少于三个。
10.一种空心柱状器件测试设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的固定装置。
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