[发明专利]研磨微粒及其制造方法、研磨剂在审
| 申请号: | 202010001512.5 | 申请日: | 2020-01-02 |
| 公开(公告)号: | CN111171788A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
| 发明(设计)人: | 杨鹏;高峰;杨剑 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
| 代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址: | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 研磨 微粒 及其 制造 方法 研磨剂 | ||
1.一种研磨微粒的制造方法,包括:
形成研磨微粒的核心;
将所述核心分散在有机溶剂中,加热到第一温度;
加入阳离子表面活性剂,在第一温度下回流第一时长;
加入磨料源,形成反应混合液,以第二温度反应第二时长,
其中,所述磨料源用于形成对目标材料具有研磨效果的核壳,所述核壳具有介孔结构。
2.根据权利要求2所述的制造方法,其中,所述核心由高分子聚合物构成。
3.根据权利要求2所述的制造方法,其中,所述核心的材料为氧化硅,所述核心为单分散纳米氧化硅微球。
4.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述核心与核壳的质量比的范围包括2:8到8:2。
5.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述有机溶剂包括乙醇、甲醇、甲苯、丙酮或异丙酮等的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述加入阳离子表面活性剂的同时,还包括:
加入碱性酸碱度调节液。
7.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述磨料源的材料为异丙醇铈,所述异丙醇铈在所述有机溶剂中水解成低聚氧化铈纳米粒子。
8.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述加入磨料源,形成反应混合液,以第二温度反应第二时长的步骤之后,还包括:
以第三温度反应第三时长。
9.根据权利要求8所述的制造方法,其中,所述以第三温度老化第三时长的步骤之后,还包括:
以第四温度反应第四时长。
10.一种研磨微粒,包括:
核心,所述核心的形状为球状结构;
包裹所述核心的核壳,所述核壳为磨料层,用于对目标材料进行研磨,
其中,所述核壳具有介孔结构。
11.根据权利要求10所述的研磨微粒,其中,所述核心由高分子聚合物构成。
12.根据权利要求11所述的研磨微粒,其中,所述核心的材料为氧化硅,所述核心为单分散纳米氧化硅微球,所述核壳的材料为氧化铈。
13.根据权利要求10所述的研磨微粒,其中,所述核心与核壳的质量比的范围包括2:8到8:2。
14.一种研磨剂,包括权利要求1-9中任一项所述的制造方法制得的研磨微粒,或权利要求10-13中任一项所述的研磨微粒。
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