[发明专利]冗余泵送系统和利用此泵送系统的泵送方法

权利要求书

1.冗余真空泵送系统(300)，包括初级罗茨泵(302)，所述初级罗茨泵(302)具有能够连接至工艺室(301)的气体抽吸入口(302a)和连接至第一泵送子系统(310)和第二泵送子系统(320)的气体排放出口(302b)，

其中，所述第一泵送子系统(310)和第二泵送子系统(320)被布置为并联泵送由初级罗茨泵(302)排空的气体，

所述第一泵送子系统(310)包括第一次级罗茨泵(311)、第一正排量泵(312)和定位于初级罗茨泵(302)的气体排放出口(302b)和第一次级罗茨泵(311)的气体抽吸入口(311a)之间的第一阀门(313)，并且所述第二泵送子系统(320)包括第二次级罗茨泵(311)、第二正排量泵(312)和定位于初级罗茨泵(302)的气体排放出口(302b)和第二次级罗茨泵(321)的气体抽吸入口(321a)之间的第二阀门(323)，

其特征在于，

所述第一泵送子系统(310)和所述第二泵送子系统(320)被配置为以相同的流速泵送，以及

所述初级罗茨泵(302)被配置为能够以等于初级泵送子系统(310)的泵送流速加上次级泵送子系统(320)的泵送流速的流速F泵送。

2.根据权利要求1所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述第一正排量泵(312)和/或所述第二正排量泵(322)是干式螺杆型泵。

3.根据权利要求1所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述第一正排量泵(312)和/或所述第二正排量泵(322)是干式爪式泵。

4.根据权利要求1所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述第一正排量泵(312)和/或所述第二正排量泵(322)是涡旋泵。

5.根据权利要求1所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述第一正排量泵(312)和/或所述第二正排量泵(322)是隔膜泵。

6.根据前述权利要求中任何一项所述的冗余真空泵送系统(300)，包括与所述初级罗茨泵(302)并联布置的带有第三阀门(304)的旁路管道(303)。

7.根据前述权利要求中任何一项所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述第一正排量泵(312)和所述第二正排量泵(322)被连接至废气处理装置，有利的是洗涤器。

8.根据前述权利要求中任何一项所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述初级罗茨泵(302)的泵送流速为5'000L/min至100'000L/min，有利的是在10'000L/min至70'000L/min之间，优选的是在25'000L/min至55'000L/min之间。

9.根据前述权利要求中任何一项所述的冗余真空泵送系统(300)，包括故障检测装置，用于检测所述初级罗茨泵(302)、第一次级罗茨泵(311)、第二次级罗茨泵(321)、第一正排量泵(312)或第二正排量泵(322)中的任何一个的故障。

10.根据权利要求9所述的冗余真空泵送系统(300)，其中所述故障检测装置被配置为能够在检测到故障的情况下致动所述第一阀门(313)、第二阀门(323)和/或第三阀门(304)。

11.利用根据前述权利要求中任何一项所述的冗余真空泵送系统(300)的泵送方法，其特征在于，初级罗茨泵(302)一直以等于第一泵送子系统(310)的流速和第二泵送子系统(320)的流速之和的额定流速被驱动。

12.根据权利要求11所述的泵送方法，其中所述泵送系统(300)包括带有第三阀门(304)的旁路管道(303)，其中当故障检测装置检测到初级罗茨泵(320)的故障时，所述第三阀门(304)被切换至它的打开位置。