[发明专利]气体分离装置及气体分离方法

权利要求书

1.一种气体分离装置，其具备：

第一吸附槽，具有吸附第一气体的栅型吸附材料；

第二吸附槽，经由第一开闭阀与所述第一吸附槽连接，且具有吸附所述第一气体的朗缪尔型吸附材料；

第一气体管，与所述第一吸附槽连接，设置有第二开闭阀，且供包括所述第一气体及与所述第一气体不同的第二气体的混合气体流过；

第二气体管，与所述第二吸附槽连接，设置有第三开闭阀，且将所述混合气体依次通过所述第一吸附槽及所述第二吸附槽而得到的通过气体取出；

第三气体管，与所述第一吸附槽连接，设置有第四开闭阀，且将从所述栅型吸附材料解吸的第一气体取出；以及

第四气体管，与所述第二吸附槽连接，设置有第五开闭阀，且将从所述朗缪尔型吸附材料解吸的第一气体取出。

2.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于，

所述第三气体管和所述第四气体管与压力调节器连接。

3.一种气体分离方法，其包括：

吸附工序，使所述开闭阀成为打开状态，并使包括第一气体及与所述第一气体不同的第二气体的混合气体按第一吸附槽及第二吸附槽的顺序流过所述第一吸附槽和所述第二吸附槽来提高所述第一吸附槽及所述第二吸附槽内的压力，由此使所述混合气体内的所述第一气体吸附于所述栅型吸附材料及所述朗缪尔型吸附材料，并从与所述第二吸附槽连接的第一取出管取出所述第二气体，其中，所述第一吸附槽具有吸附所述第一气体的栅型吸附材料，所述第二吸附槽经由开闭阀与所述第一吸附槽连接，且具有吸附所述第一气体的朗缪尔型吸附材料；

第一解吸工序，使所述开闭阀成为打开状态，并将所述第一吸附槽内的压力降低至所述栅型吸附材料的所述第一气体解吸的压力，由此使所述第一气体从所述栅型吸附材料及所述朗缪尔型吸附材料解吸，并且从与所述第一吸附槽连接的第二取出管取出所述第一气体；以及

第二解吸工序，在所述第一解吸工序之后，使所述开闭阀成为关闭状态，并降低所述第二吸附槽内的压力，由此使所述第一气体从所述朗缪尔型吸附材料解吸，并将解吸的所述第一气体从与所述第二吸附槽连接的第三取出管取出。

4.根据权利要求3所述的气体分离方法，其特征在于，还包括：

第一清洗工序，在所述第二解吸工序之后，使所述开闭阀成为关闭状态，一边使实质上未被所述朗缪尔型吸附材料吸附的未吸附气体流向所述第二吸附槽，一边将从所述朗缪尔型吸附材料解吸的所述第一气体经由所述第二取出管取出；以及

第二清洗工序，在所述第一清洗工序之后，使所述开闭阀成为打开状态，一边使实质上未被所述栅型吸附材料吸附的未吸附气体从所述第二吸附槽流向所述第一吸附槽，一边将从所述朗缪尔型吸附材料及所述栅型吸附材料解吸的所述第一气体经由所述第三取出管取出。

5.根据权利要求3所述的气体分离方法，其特征在于，还包括：

返送工序，将在所述第一解吸工序及所述第二解吸工序中取出的气体的一部分返送至所述第一吸附槽及所述第二吸附槽中的至少一方。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的气体分离方法，其特征在于，还包括：

升压工序，在所述吸附工序之前，提高所述第一吸附槽及所述第二吸附槽内的压力。

7.一种气体分离方法，其包括：

吸附工序，使包括与第一气体不同的第二气体及所述第一气体的混合气体按第一吸附部及第二吸附部的顺序流过所述第一吸附部和所述第二吸附部，由此来提高所述第一吸附部及所述第二吸附部的压力，并使所述第一气体吸附于所述栅型吸附材料及所述朗缪尔型吸附材料，其中，所述第一吸附部具有吸附所述第一气体的栅型吸附材料，所述第二吸附部与所述第一吸附部串联配置，且具有吸附所述第一气体的朗缪尔型吸附材料；以及

解吸工序，降低所述第一吸附部及所述第二吸附部内的压力，使所述第一气体从所述栅型吸附材料及所述朗缪尔型吸附材料解吸。