[发明专利]被配置用于生成线焦点的共焦激光扫描显微镜

权利要求书

1.一种显微成像系统(1)，所述成像系统(1)包括：

光源(2)，其用于生成照明光；

光学系统；

探测器系统(12)；

其中，所述光学系统被配置为：

聚焦所述照明光以在要检查的对象(4)内同时地形成多个焦点，使得响应于所述照明光而由所述对象(4)从所述焦点发射探测光，其中，所述焦点中的每个焦点是线焦点(LF₁、LF₂)；并且

将所述探测光引导到所述探测器系统(12)，所述探测器系统被配置为探测所述探测光；

其中，所述光学系统还被配置为使得当相对于所述光学系统的沿着其所述照明光入射在所述对象(4)上的光轴(A₁)查看时，所述焦点在轴向方向上彼此相互移位并且在横向上彼此相互移位；并且

其中，针对所述对象(4)中生成的所述焦点中的每个焦点，所述探测器系统(12)和所述光学系统被配置为实质上分离地探测从相应焦点发射的所述探测光；

其中，所述光学系统和/或所述探测器系统(12)被配置为补偿沿着所述轴向方向的所述移位，使得针对所述焦点中的每个焦点，所述探测器系统(12)的接收所述探测光的部分的光接收部分(SP₁、SP₂)实质上被定位于光学共轭于相应焦点的至少部分的位置处。

2.根据权利要求1所述的成像系统(1)，其中，针对所述线焦点(LF₁、LF₂)中的每个线焦点，所述光学系统和所述探测器系统(12)被配置用于相应线焦点(LF₁、LF₂)内的空间分辨光探测。

3.根据权利要求1或2所述的成像系统(1)，其中，所述光接收部分(SP₁、SP₂)中的每个光接收部分是由所述探测器系统(12)的光敏探测器元件(20)的相应组提供的，其中，所述光敏探测器元件中的每个光敏探测器元件具有光敏表面；

其中，非光敏表面区域(23)分离相邻组的所述光敏探测器元件(20)的所述光敏表面；

其中，针对在所述组中的一个组中的相邻光敏表面的每个对，所述对的所述光敏表面之间的移位小于分离距离(g)的0.25倍、或小于分离距离(g)的0.1倍、或小于分离距离(g)的0.05倍。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的成像系统(1)，其中，所述光学系统包括射束倍增系统(5)，所述射束倍增系统在所述光源(2)与所述对象(4)之间的所述照明光中并且生成多个子射束(8、9)。

5.根据权利要求4所述的成像系统(1)，其中：

所述射束倍增系统(5)被配置为生成所述子射束(8、9)，使得所述子射束(8、9)中的每个子射束具有实焦点或虚焦点；并且

所述光学系统被配置为将从所述实焦点或所述虚焦点会聚或朝向所述实焦点或所述虚焦点发散的所述子射束中的每个子射束成像到所述对象(4)内的所述线焦点(LF₁、LF₂)中的一个线焦点中。

6.根据权利要求4或5所述的成像系统(1a)，其中，所述射束倍增系统(5)包括衍射光学元件(5a)，其中，所述子射束(8a、9a)中的每个子射束对应于由所述衍射光学元件(5a)生成的衍射级。

7.根据权利要求6所述的成像系统(1)，其中，所述衍射光学元件(5a)被配置为至少部分地补偿所述光学系统的球面像差，其中，所述球面像差影响所述线焦点(LF₁、LF₂)中的至少一个线焦点的形状和/或线宽度。

8.根据权利要求6或7所述的成像系统(1)，其中，所述衍射光学元件(13a)被配置为使得从所述衍射光学元件(13a)离开的照明光具有在所述衍射光学元件的衍射平面中测量的相位轮廓，

其中，所述相位轮廓或者所述相位轮廓的多项式表示的加性分量具有实质上二重旋转对称性。