[发明专利]非接触式旋转接头

权利要求书

1.一种旋转接头，包括：

旋转元件，所述旋转元件通过轴承旋转地耦接至固定元件，其中所述旋转元件的表面与所述固定元件的第一表面隔开一定距离以形成第一间隙，并且

其中所述固定元件包括：

喷嘴区域，所述喷嘴区域具有设置在所述喷嘴区域的一端处的外表面；

第一通道，所述第一通道延伸穿过所述喷嘴区域和所述喷嘴区域的所述外表面；以及

第二通道，所述第二通道与第一充气增压部流体连通，其中所述第一充气增压部由所述固定元件的一个或多个表面和所述旋转元件的一个或多个表面限定，并且所述第一充气增压部与在所述第一间隙内形成的所述空间流体连通。

2.如权利要求1所述的旋转接头，进一步包括定位在所述固定元件与所述旋转元件之间的密封，其中所述第一充气增压部设置在所述密封与所述第一间隙内形成的所述空间之间。

3.如权利要求2所述的旋转接头，其中所述密封是包括多个规则地间隔的特征的迷宫式密封。

4.如权利要求1所述的旋转接头，其中所述第一间隙的宽度在约3μm和约1mm之间。

5.如权利要求1所述的旋转接头，其中所述第一间隙的宽度在约100μm和约200μm之间。

6.一种用于在旋转接头的部件之间传送一种或多种流体的方法，包括：

在第一压力下将工艺介质从第一流体源输送到第一通道中，其中所述第一通道延伸至所述旋转接头的固定元件中，并且所述旋转接头进一步包括第一间隙，所述第一间隙形成在所述固定元件与旋转元件之间，所述旋转元件旋转地耦接至所述固定元件；以及

在第二压力下将支撑介质从第二流体源输送到第二通道中，其中所述第二通道延伸至充气增压部中，所述充气增压部由所述固定元件的一个或多个表面和所述旋转元件的一个或多个表面限定，

其中所述充气增压部在一端处流体耦接至所述第一间隙，并且

其中所述支撑介质的所述应用阻止所述工艺介质进入所述第一间隙。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述第一压力与所述第二压力处于平衡。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述第一压力高于所述第二压力。

9.如权利要求6所述的方法，其中所述第一压力低于所述第二压力。

10.一种用于在被配置成相对于彼此旋转的部件之间传送一种或多种流体的系统，包括：

旋转接头，包括：

旋转元件，所述旋转元件通过轴承旋转地耦接至固定元件，其中所述旋转元件的表面与所述固定元件的第一表面隔开一定距离以形成第一间隙；

其中所述固定元件包括：

喷嘴区域，所述喷嘴区域具有设置在所述喷嘴区域的一端处的外表面；

第一通道，所述第一通道从所述旋转接头外部的第一流体源延伸通过所述喷嘴区域和所述喷嘴区域的所述外表面；以及

第二通道，所述第二通道从所述旋转接头外部的第二流体源延伸，其中所述第二通道与第一充气增压部流体连通，其中所述第一充气增压部由所述固定元件的一个或多个表面和所述旋转元件的一个或多个表面限定，并且所述第一充气增压部与在所述第一间隙内形成的所述空间流体连通；其中，

所述第一流体源被配置成在第一压力下输送工艺介质；

所述第二流体源被配置成在第二压力下输送支撑介质；以及

所述支撑介质的所述输送阻止所述工艺介质进入所述第一间隙。

11.如权利要求10所述的系统，进一步包括定位在所述固定元件与所述旋转元件之间的密封，其中所述第一充气增压部设置在所述密封与所述第一间隙内形成的所述空间之间。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述密封是迷宫式密封。