[发明专利]利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备

权利要求书

1.一种用于流体的脉冲输送的流体控制系统，所述系统包括：

截止阀；以及

位于所述截止阀上游的质量流量控制器(MFC)，所述MFC包括：

流道，

控制阀，所述控制阀对所述流道中的流体流量进行控制，

流量传感器，所述流量传感器对所述流道中的流率进行测量，以及

控制器，所述控制器具有来自所述截止阀的指示所述截止阀的打开的阀输入，所述控制器被配置成，响应于所述阀输入来对通过所述控制阀的流体流量进行控制，以发起和终止从所述流道到所述截止阀的流体脉冲，从而对所述流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器基于在所述流体脉冲期间来自所述流量传感器的反馈，来对通过所述控制阀的所述流体流量进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述阀输入是压力信号，并且其中，所述MFC包括对所述压力信号进行感测的压力传感器。

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述压力传感器经由接进气动管线的分接头接收所述压力信号，所述管线中的压力使所述截止阀打开和关闭。

5.根据权利要求3所述的系统，其中，所述压力传感器经由通过主机控制器控制的气动管线来接收所述压力信号。

6.根据权利要求3所述的系统，其中，所述控制器被配置成，将所述压力信号的上升沿转换成开始脉冲气体输送的触发信号。

7.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述截止阀由主机控制器控制。

8.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述控制器被配置成，根据流量设定点Q_SP和脉冲开启时段Δt来计算摩尔设定点n_SP，所述摩尔设定点n_SP是要在所述流体脉冲期间输送的所述流体质量的目标量。

9.根据权利要求8所述的系统，其中，所述脉冲开启时段Δt是在所述MFC中存储的默认值，并且所述流量设定点Q_SP是从主机控制器接收的。

10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述MFC可编程为从所存储的默认值改变所述脉冲开启时段Δt。

11.根据权利要求8所述的系统，其中，所述控制器被配置成，基于对所述流体脉冲期间输送的所述流体质量和/或所述脉冲开启时段Δt的持续时间的计算，将所述控制阀关闭。

12.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述截止阀是联接至工艺腔和转移管线的三通阀。

13.一种输送流体脉冲的方法，所述方法包括以下步骤：

利用控制阀来控制流体流量进入流道；

利用流量传感器对所述流道中的流率进行测量；

从所述控制阀下游的截止阀接收阀输入，所述阀输入指示所述截止阀的打开；以及

响应于所述阀输入来对通过所述控制阀的流体流量进行控制，以发起和终止从所述流道到所述截止阀的流体脉冲，从而对所述流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，对通过所述控制阀的流体流量进行控制的步骤是基于在所述流体脉冲期间来自所述流量传感器的反馈的。

15.根据权利要求13或14所述的方法，其中，接收阀输入的步骤包括：感测经由接进气动管线的分接头接收到的压力信号，所述管线中的压力使所述截止阀打开和关闭。