[发明专利]复合传感器

权利要求书

1.一种复合传感器，是将包含根据温度而电阻率发生变化的感温部件的温度传感器和包含根据湿度而静电容量或电阻率发生变化的感湿部件的湿度传感器一体化而成的复合传感器，具备：

第1端子，所述温度传感器和所述湿度传感器共用，

第2端子，配置成能够在与所述第1端子之间测定所述感温部件的电特性，以及

第3端子，配置成能够在与所述第1端子之间测定所述感湿部件的电特性。

2.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，所述感温部件层叠配置于所述感湿部件，

所述第1端子形成于沿所述复合传感器的层叠方向的面。

3.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，所述复合传感器具有长方体的形状，

所述长方体包含沿所述复合传感器的层叠方向的第1～第4面，

所述第1端子形成于所述第1面，

所述第3面是与所述第1面相反侧的面，

所述第3端子形成于所述第3面。

4.根据权利要求2或3所述的复合传感器，其中，所述第2端子形成于与所述层叠方向正交的面。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的复合传感器，其中，所述第1端子为接地端子，

在所述第1端子与所述第2端子之间连接有直流电压源，

在所述第1端子与所述第3端子之间连接有交流电压源。

6.根据权利要求1所述的复合传感器，进一步具备与所述第1端子电连接的第1电极和与所述第3端子电连接的第2电极，

所述第1电极包含第1内部电极部，该第1内部电极部具有被所述感湿部件覆盖的第1主面和被所述感湿部件覆盖的第2主面，

所述第2电极包含第2内部电极部，该第2内部电极部具有被所述感湿部件覆盖的第3主面和被所述感湿部件覆盖的第4主面，

所述第1内部电极部和所述第2内部电极部夹持所述感湿部件而配置。

7.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，所述感湿部件由包含根据湿度的变化而静电容量发生变化的第1材料和介电常数与所述第1材料不同的第2材料的复合材料所形成。

8.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，所述感湿部件由包含根据湿度的变化而静电容量发生变化的第1材料和属于磁性体的第2材料的复合材料所形成。

9.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，所述感湿部件由包含根据湿度的变化而静电容量发生变化的第1材料、介电常数与所述第1材料不同的第2材料和属于磁性体的第3材料的复合材料所形成。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的复合传感器，其中，所述感湿部件包含第1部分和第2部分，所述第2部分配置成与所述第1部分相比更靠近所述感湿部件的主面，且所述第1材料的比例比所述第1部分高。