[发明专利]搬运装置及控制方法有效
| 申请号: | 201980037862.2 | 申请日: | 2019-06-24 |
| 公开(公告)号: | CN112262466B | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
| 发明(设计)人: | 中村博史 | 申请(专利权)人: | 平田机工株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G49/07;H01L21/673 |
| 代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李成海 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 搬运 装置 控制 方法 | ||
1.一种搬运装置,其特征在于,具备搬运组件、保护材料载置部、容器载置部、控制组件、安装判定组件和整合性判定组件,
该搬运组件在进行捆包动作及解捆动作的各动作之际搬运保护材料,该捆包动作是在容器内形成前述保护材料与基板的层叠体的动作,该解捆动作是从容器内的前述层叠体交替地取出前述保护材料与前述基板的动作;
该保护材料载置部积载前述保护材料;
该容器载置部载置前述容器的容器主体部;
该控制组件以与前述保护材料的种类对应的多个动作模式中的被选择了的动作模式控制前述搬运组件;
该安装判定组件判定与前述保护材料的种类对应地被选择且构成前述搬运组件、前述保护材料载置部及前述容器载置部的各零件的拆卸安装;
该整合性判定组件判定被选择了的前述动作模式与前述安装判定组件的判定结果的整合性。
2.如权利要求1所述的搬运装置,其特征在于,
前述保护材料的种类是片材与框状的间隔件;
前述搬运组件具备第一保持组件和第二保持组件,
该第一保持组件保持一个前述间隔件;
该第二保持组件作为构成前述搬运组件的前述零件选择性地安装,
前述第二保持组件是保持前述片材的片材保持组件或汇总地保持被层叠了的多个前述间隔件的间隔件保持组件;
前述安装判定组件判定安装了前述片材保持组件和前述间隔件保持组件的哪一个。
3.如权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,
前述间隔件保持组件具备多个保持构件和位移组件,
该多个保持构件从内侧保持被层叠了的前述间隔件;
该位移组件支承前述多个保持构件,并自由扩张收缩地位移,
各个前述保持构件在其下端具备延伸设置在外侧的凸缘状的卡合部。
4.如权利要求3所述的搬运装置,其特征在于,
前述间隔件具有圆环形状,
前述多个保持构件在前述间隔件的周向以等间隔配置,
各个前述保持构件包含沿被层叠了的前述间隔件的内周面抵接的外周部,在该外周部的下端具有前述卡合部。
5.如权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,
前述搬运组件包含第一移动单元、第二移动单元和第三移动组件,
该第一移动单元将前述第一保持组件支承成自由转动,
该第二移动单元将前述第二保持组件支承成自由转动,
该第三移动组件将前述第一移动单元及前述第二移动单元一起移动,
前述第三移动组件使前述第一移动单元及前述第二移动单元上下地移动,
前述第一移动单元及前述第二移动单元在上下方向偏置地配置,且将各个转动的中心轴配置成同轴状。
6.如权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,
具备第一连接组件,该第一连接组件用于将检测前述片材保持组件的安装的传感器与前述安装判定组件电气性地连接,
具备第二连接组件,该第二连接组件用于将检测前述间隔件保持组件的安装的传感器与前述安装判定组件电气性地连接,
前述安装判定组件具备输入来自前述第一连接组件的电信号的第一输入端口及输入来自前述第二连接组件的电信号的第二输入端口,且通过向前述第一输入端口或前述第二输入端口的哪一个输入了电信号来判定安装了前述片材保持组件或前述间隔件保持组件的哪一个。
7.如权利要求5所述的搬运装置,其特征在于,前述第二移动单元具备将前述第二保持组件定位的定位部。
8.如权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,前述片材保持组件具备吸附前述片材的上面的多个吸附部。
9.如权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,前述第一保持组件具备吸附前述间隔件的上面的多个吸附部。
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