[发明专利]铝合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201980036620.1 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN112204165B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 中村亮太;永田智啓;赤松泰彦;小林大士;氏原祐辅;中台保夫;新田纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;H01L21/203;H01L21/28;H01L29/786 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铝合金 及其 制造 方法 | ||
1.一种铝合金靶材，其中，
在Al纯金属中含有Zr、Sc和从Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素，
含有Mn、Si和从Mg及Ag的组中选择的至少一种的第二添加元素，
还含有从Ce、以及La的组中选择的至少一种的第三添加元素，
Zr、Sc和所述第一添加元素的含量在0.1原子％以上0.5原子％以下，
Mn、Si和所述第二添加元素的含量在0.5原子％以上1.5原子％以下，
所述第三添加元素的含量在0.1原子％以上1.0原子％以下，所述第三添加元素被加热处理时朝向晶界析出。
2.根据权利要求1所述的铝合金靶材，其中，
粒子的平均粒径在10μm以上100μm以下。
3.根据权利要求2所述的铝合金靶材，其中，
所述粒子间的晶界处的Ce、Mn以及Si中的至少任一种的含量比所述粒子内的Ce、Mn以及Si中的至少任一种的含量高。
4.一种制造铝合金靶材的制造方法，其中，
使Al纯金属含有Zr、Sc和从Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素，含有Mn、Si和从Mg及Ag的组中选择的至少一种的第二添加元素，还含有从Ce、以及La的组中选择的至少一种的第三添加元素，
塑性加工之后进行切制，
Zr、Sc和所述第一添加元素的含量在0.1原子％以上0.5原子％以下，
Mn、Si和所述第二添加元素的含量在0.5原子％以上1.5原子％以下，
所述第三添加元素的含量在0.1原子％以上1.0原子％以下，所述第三添加元素被加热处理时朝向晶界析出。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980036620.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：端子的接合结构
- 下一篇：用于方便穿上衣服的设备
- 同类专利
- 专利分类
