[发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法

权利要求书

1.一种衬底处理装置，包含：

衬底保持单元，保持衬底；

混合干燥辅助物质供给单元，用来对所述衬底保持单元保持的衬底的表面供给混合干燥辅助物质，所述混合干燥辅助物质由干燥辅助物质、第1溶剂、以及与所述干燥辅助物质及所述第1溶剂不同的药剂相互混合所得；

蒸发单元，用来使所述第1溶剂从所述衬底保持单元保持的衬底的表面蒸发；

去除单元，用来将所述干燥辅助物质从所述衬底保持单元保持的衬底的表面去除；及

控制装置，控制所述混合干燥辅助物质供给单元、所述蒸发单元及所述去除单元；且

所述控制装置执行：

混合干燥辅助物质供给步骤，通过所述混合干燥辅助物质供给单元对所述衬底的表面供给所述混合干燥辅助物质；

固化膜形成步骤，通过利用所述蒸发单元使所述第1溶剂从存在于所述衬底的表面的所述混合干燥辅助物质蒸发而形成包含所述干燥辅助物质及所述药剂的固化膜；及

去除步骤，将所述固化膜中包含的所述干燥辅助物质去除。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述干燥辅助物质包含具有升华性的升华性物质。

3.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述药剂包含与所述第1溶剂不同的第2溶剂。

4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其中所述第1溶剂的蒸汽压高于所述干燥辅助物质的蒸汽压及所述第2溶剂的蒸汽压。

5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中所述控制装置在所述固化膜形成步骤中执行如下步骤，即，一边使所述第1溶剂从所述混合干燥辅助物质蒸发，一边使所述混合干燥辅助物质中包含的所述干燥辅助物质固化。

6.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中通过所述固化膜形成步骤形成的所述固化膜不含所述第1溶剂。

7.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中所述第2溶剂的蒸汽压低于所述干燥辅助物质的蒸汽压。

8.根据权利要求7所述的衬底处理装置，其中在通过所述固化膜形成步骤形成的所述固化膜中，所述第2溶剂呈液体状。

9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述控制装置在所述去除步骤之后，还执行使液体状的所述第2溶剂从所述衬底的表面蒸发的溶剂蒸发步骤。

10.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中在所述衬底的表面形成图案，且

在所述去除步骤之后残存的所述第2溶剂的厚度薄于所述图案的高度。

11.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其中所述混合干燥辅助物质是以比所述干燥辅助物质及所述第1溶剂这两者少的比率含有所述第2溶剂。

12.根据权利要求11所述的衬底处理装置，其中所述混合干燥辅助物质是以比所述第1溶剂少的比率含有所述干燥辅助物质。

13.根据权利要求11或12所述的衬底处理装置，其中在通过所述固化膜形成步骤形成的所述固化膜中，包含比所述第2溶剂多的所述干燥辅助物质，且所述第2溶剂以分散在所述固化膜的状态存在。

14.根据权利要求11或12所述的衬底处理装置，其中所述固化膜形成步骤中的所述固化膜的形成速度比基于包含所述干燥辅助物质及所述第1溶剂且不含所述药剂的液体形成所述固化膜时的形成速度慢。

15.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述干燥辅助物质具有室温以上的凝固点，且

所述混合干燥辅助物质的凝固点低于所述干燥辅助物质的凝固点。