[发明专利]光学麦克风组件

权利要求书

1.一种光学麦克风组件，其包括：

刚性基板；

干涉测量布置，所述干涉测量布置包括膜片和与所述膜片间隔开的至少一个光学元件，其中所述至少一个光学元件包括所述基板的表面且/或安置于所述基板的表面上，所述光学麦克风组件进一步包括：

光源，其布置成向所述干涉测量布置提供光以使得所述光的第一部分经由所述干涉测量布置沿着第一光学路径传播且所述光的第二部分经由所述干涉测量布置沿着不同的第二光学路径传播，由此产生所述第一光学路径与所述第二光学路径之间的光学路径差，所述光学路径差取决于所述膜片与所述光学元件之间的距离；以及

至少一个光电检测器，其布置成检测取决于所述光学路径差的由光的所述第一部分和所述第二部分产生的干涉图案的至少一部分；

罩壳，其布置成形成与所述膜片的一侧流体连通的声腔；其中所述声腔的体积为至少3mm乘以d²，其中d为所述膜片的直径。

2.根据权利要求1所述的光学麦克风组件，其中至少所述干涉测量布置、所述光源和所述光电检测器一起限定光学麦克风，其中所述光学麦克风为微机电系统光学麦克风。

3.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中除了所述声腔以外，所述光学麦克风组件还包括间隙体积，其中所述基板和膜片一起限定其间的所述间隙体积。

4.根据权利要求3所述的光学麦克风组件，其中所述间隙体积小于所述声腔的体积的10％。

5.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中所述膜片和所述光学元件整合到微机电系统组件中。

6.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中使用微机电系统工艺来制造所述光学麦克风组件。

7.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中所述膜片具有介于1mm与4mm之间的最大横向尺寸。

8.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其包括一个或多个孔径，所述一个或多个孔径提供用于空气穿过所述基板的通道。

9.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中所述基板和所述膜片一起限定其间的间隙体积，且其中所述光学麦克风组件进一步包括一个或多个孔径，其提供用于空气的通道以使得所述间隙体积经由所述一个或多个孔径与所述麦克风组件的外部流体连通。

10.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其中所述基板和所述膜片一起限定其间的间隙体积，且其中所述光学麦克风组件进一步包括一个或多个孔径，其提供用于空气的通道以使得所述声腔经由所述一个或多个孔径与所述间隙体积流体连通。

11.根据权利要求8所述的光学麦克风组件，其包括包围所述基板的中心支撑部分的多个孔径，所述光学元件设置在所述中心支撑部分上。

12.根据权利要求8所述的光学麦克风组件，其中所述孔径或每一孔径在所述基板的平面上具有至少0.2mm的最大范围。

13.根据权利要求8所述的光学麦克风组件，其中所述孔径或每一孔径在所述基板的平面上具有大于或等于所述基板的厚度的最大范围。

14.根据权利要求1或2所述的光学麦克风组件，其包括所述基板中的穿孔，所述穿孔具有与所述膜片类似的尺寸且与所述膜片重叠，且所述光学麦克风组件进一步包括多个一体形成的径向延伸支撑元件，所述一体形成的径向延伸支撑元件围绕所述穿孔的周边将中心支撑件连接到所述基板，所述光学元件设置在所述中心支撑件上。