[发明专利]流体控制设备

权利要求书

1.一种流体控制设备，探测与流路隔离的封闭空间内的压力，

所述流体控制设备具有：

阀主体，其形成有所述流路；

隔离构件，其允许或者切断所述流路中的流体的流通，并且将所述封闭空间从所述流路隔离；

阀盖，其配设在所述阀主体上而与所述隔离构件之间形成所述封闭空间，并且所述阀盖设置有贯插孔，所述贯插孔与所述封闭空间连通且供隔膜压件能够上下移动地进行贯穿插入；

所述隔膜压件，其在所述贯插孔内上下移动来按压所述隔离构件，并且设置有使得所述隔膜压件不能从所述贯插孔拔出的扩径部；

压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；以及

弹性体，其在所述封闭空间内夹设于所述隔膜压件的扩径部与所述阀盖之间，伴随着所述隔膜压件的上下移动而在所述隔膜压件的扩径部与所述阀盖之间弹性地膨胀收缩。

2.根据权利要求1所述的流体控制设备，其中，

在所述阀盖设置有收容部，所述收容部向所述封闭空间侧开口，并收容所述弹性体，

所述弹性体伴随着所述隔膜压件的上下移动而膨胀收缩，并且在压缩时弹性变形而收容于所述收容部。

3.根据权利要求2所述的流体控制设备，其中，

所述收容部构成为所述贯插孔中的在所述封闭空间的附近扩径的部分，

所述弹性体对所述贯插孔的内周面与所述隔膜压件之间进行密封。

4.根据权利要求2或3所述的流体控制设备，其中，

所述弹性体以在自然状态下在与所述封闭空间相反的一侧形成空隙的方式收容于所述收容部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流体控制设备，其中，

在所述封闭空间内上下移动的所述隔膜压件的扩径部的位置规定与所述隔膜压件联动的活塞的上止点。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的流体控制设备，其中，

在所述封闭空间的附近还具有密封构件，所述密封构件对所述贯插孔的内周面与所述隔膜压件之间进行密封。