[发明专利]压电致动器的电压的确定与施加在审
| 申请号: | 201980030945.9 | 申请日: | 2019-03-07 |
| 公开(公告)号: | CN112385055A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
| 发明(设计)人: | 拉尔斯·亨利克森;托尔·斯维特达尔;尤安·巴伦;穆罕默德·阿西夫·拉扎·阿兹哈尔;陈氏金贞;尼古拉斯·塔拉罗恩;皮埃尔·克雷恩 | 申请(专利权)人: | 珀莱特股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L41/04 | 分类号: | H01L41/04 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 谭营营;胡彬 |
| 地址: | 挪威*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 致动器 电压 确定 施加 | ||
1.一种用于压电致动器(PEA)的电压的确定和施加以实现给定设定位移的方法,所述方法包括:
-在初始校准过程中,确定PEA位移测量结果(d)和电压(V)之间的关系dcal(V)以及转换时间(tt)和电压之间的关系ttcal(V),其中所述转换时间是在施加于所述PEA的两个电压VA和VB之间的充电或放电时间ΔT,并且其中所述关系是针对增加电压和减小电压两者来确定的,以标测迟滞,以及结合所确定的关系来计算所述位移测量结果与转换时间之间的关系d(tt);
-在对所述PEA进行反复偏压之后,确定转换时间和电压之间的新关系ttnew(V),并且将ttnew(V)代入计算出的d(tt)中以计算补偿关系dc(V);
-提供设定位移测量结果dsp或电压Vs;
-使用所述补偿关系dc(V)确定将施加于所述PEA以实现dsp或实现由Vs导出的位移测量结果的电压;
-将所确定的电压施加于所述PEA上。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,确定将施加于所述PEA上的电压的步骤包括,在迟滞补偿算法中使用dc(V)来确定将施加于所述PEA上以实现dsp的迟滞补偿电压Vhc。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,所述迟滞补偿算法包括:
-以针对增加的电压d↑c(V)和针对减小的电压d↓c(V)来使用dc(V),确定dc(V)的最大电压和最小电压Vmax和Vmin,以及提供包括最后上拐点和下拐点Vupper和Vlower的历史数据;
--使用第一迟滞模型函数dn(V),其中V被归一化为
dn↑=Vn1,1
dn↓=1-(1-Vn)1,1,
以及第二迟滞模型函数dr(V),其中V被归一化为
dr(V)=dn(V)·(dn(Vlower)-dn(Vupper))+dn(Vupper),确定迟滞比r:
-为所述PEA提供设定位移测量结果dsp,并根据d↑c(V)确定相应的电压Vs;
-将查找范围选择为区间[Vmin;Vlower]、[Vlower;Vupper]或[Vuppe;Vmax],其中VS下降,和在选定的范围内使用函数dS(V)=d↑c(V)+r(V)(d↓c(v)-d↑c(V))并且从VS开始执行二分查找算法以确定迟滞补偿电压Vhs,所述迟滞补偿电压Vhs根据dsp产生预设阈值内的位移测量结果。
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法,还包括在初始校准期间和确定ttnew(V)时记录所述PEA的温度,并在计算所述补偿关系dc(V)之前补偿所确定的关系的温度依赖性。
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