[发明专利]自参考光谱仪在审
| 申请号: | 201980023882.4 | 申请日: | 2019-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN111936831A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
| 发明(设计)人: | M·梅德哈特;B·莫塔达;Y·M·萨布里;M·胡萨姆;M·安瓦尔;A·什布尔;H·哈德达拉;B·A·萨达尼 | 申请(专利权)人: | 斯维尔系统 |
| 主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/10;G01J3/45;G01J3/26;G01J3/453;G01B9/02;G02B26/08;G02B17/02 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 马明月 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 参考 光谱仪 | ||
1.一种自参考光谱仪,包括:
干涉仪,被光耦合以接收输入光束,并且沿第一光路引导所述输入光束以产生第一干涉光束,并且沿第二光路引导所述输入光束以产生第二干涉光束,其中所述第一干涉光束和所述第二干涉光束是在所述干涉仪的输出之前被产生的,并且其中所述第一干涉光束和所述第二干涉光束穿过所述干涉仪外部的不同的相应介质;
检测器,被光耦合以同时检测从所述第一干涉光束产生的第一干涉信号和从所述第二干涉光束产生的第二干涉信号;以及
处理器,被耦合到所述检测器,并且被配置为处理所述第一干涉信号和所述第二干涉信号,并且被配置为在处理所述第一干涉信号时将所述第二干涉信号用作参考信号。
2.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述干涉仪还包括:
分束器,被光耦合以接收所述输入光束,并且将所述输入光束分裂成第一入射光束和第二入射光束;
固定反射器,被光耦合以接收所述第一入射光束,并且朝向所述分束器反射所述第一入射光束以产生第一反射光束;
可移动反射器,被光耦合以接收所述第二入射光束,并且朝向所述分束器反射所述第二入射光束以产生第二反射光束;以及
致动器,被耦合到所述可移动反射器以引起所述可移动反射器的位移,其中所述位移在所述第一反射光束与所述第二反射光束之间产生光路长度差。
3.根据权利要求2所述的光谱仪,其中:
所述分束器还被光耦合以从所述第一反射光束与所述第二反射光束之间的干涉产生所述第一干涉光束,并且沿所述第一光路引导所述第一干涉光束;
所述分束器还被光耦合以从所述第一反射光束与所述第二反射光束之间的干涉产生所述第二干涉光束,并且沿所述第二光路引导所述第二干涉光束;并且
所述检测器包括第一检测器和第二检测器,所述第一检测器被光耦合以检测所述第一干涉信号,所述第二检测器被光耦合以检测所述第二干涉信号。
4.根据权利要求3所述的光谱仪,其中:
所述固定反射器包括固定后向反射器;并且
所述可移动反射器包括可移动后向反射器。
5.根据权利要求4所述的光谱仪,其中:
所述干涉仪包括Mach-Zehnder干涉仪;
所述分束器包括第一分束器和第二分束器;
所述固定反射器还包括第一平面反射镜,所述第一平面反射镜被光耦合以从所述第一分束器接收所述第一入射光束,并且朝向所述固定后向反射器重定向所述第一入射光束;
所述固定后向反射器被光耦合以朝向所述第二分束器引导所述第一反射光束;
所述可移动后向反射器被光耦合以从所述第一分束器接收所述第二入射光束;
所述可移动反射器还包括第二平面反射镜,所述第二平面反射镜被光耦合以从所述可移动后向反射器接收所述第二反射光束,并且朝向所述第二分束器重定向所述第二反射光束;并且
所述第二分束器被光耦合以接收所述第一反射光束和所述第二反射光束,并且产生所述第一干涉光束和所述第二干涉光束。
6.根据权利要求3所述的光谱仪,其中所述干涉仪还包括:
耦合器,被光耦合以接收所述输入光束,并且朝向所述分束器引导所述输入光束,所述耦合器还被光耦合以从所述分束器接收所述第二干涉光束,并且朝向所述第二检测器沿所述第二光路引导所述第二干涉光束。
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