[发明专利]由片上电感器/变压器重叠的折叠金属氧化物电容器

权利要求书

1.一种集成电路，包括：

至少一个后端制程(BEOL)互连级中的电容器，所述电容器具有多个折叠电容器叉指、以及在所述折叠电容器叉指的多个侧面的同一侧上的一对歧管，所述折叠电容器叉指具有所述多个侧面，所述一对歧管中的每个歧管均耦合到多个所述折叠电容器叉指中的至少一个折叠电容器叉指；和

感应迹线，所述感应迹线在至少一个不同的BEOL互连级中具有至少一个线匝，所述感应迹线与所述电容器的至少一部分重叠。

2.根据权利要求1所述的集成电路，其中，在第一互连级处的具有第一极性的第一歧管在面向第一方向的第一侧上、但不在面向相反方向的第二侧上，耦合到在所述第一互连级处的具有所述第一极性的至少一个折叠电容器叉指，并且在所述第一互连级处的具有不同极性的第二极性的第二歧管在面向所述第一方向的第三侧上、但不在面向所述相反方向的第四侧上，耦合到在所述第一互连级处的具有所述第二极性的至少一个折叠电容器叉指。

3.根据权利要求1所述的集成电路，其中，在第一互连级上的至少一个折叠电容器叉指通过至少一个通孔耦合到在第二互连级上的至少一个折叠电容器叉指。

4.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述一对歧管与所述感应迹线在同一层上。

5.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述一对歧管与所述感应迹线在不同的层上。

6.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述一对歧管中的至少一个歧管延伸通过多个互连级，并且其中，一个互连级中的至少一个歧管部分通过至少一个通孔耦合到另一互连级中的另一歧管部分。

7.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述多个折叠电容器叉指的至少一部分在由所述感应迹线限定的周界内。

8.一种用于制造集成电路的方法，包括：

制造在至少一个后端制程(BEOL)互连级中的电容器，所述电容器具有多个折叠电容器叉指、以及在所述折叠电容器叉指的多个侧面的同一侧上的一对歧管，所述折叠电容器叉指具有所述多个侧面，所述一对歧管中的每个歧管均耦合到多个所述折叠电容器叉指中的至少一个折叠电容器叉指；和

在至少一个不同的BEOL互连级中制造具有至少一个线匝的感应迹线，所述感应迹线与所述电容器的至少一部分重叠。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

在面向第一方向的第一侧上、但不在面向相反方向的第二侧上，将所述一对歧管中具有第一极性的第一歧管耦合到在相同的互连级处的具有所述第一极性的至少一个折叠电容器叉指；和

在面向所述第一方向的第三侧上、但不在面向所述相反方向的第四侧上，将所述一对歧管中具有不同极性的第二极性的第二歧管耦合到在所述相同的互连级处的具有所述第二极性的至少一个折叠电容器叉指。

10.根据权利要求8所述的方法，还包括：通过至少一个通孔将在第一互连级上的至少一个折叠电容器叉指耦合到在第二互连级上的至少一个折叠电容器叉指。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，制造具有所述一对歧管的所述电容器包括：在第一互连级上制造所述一对歧管的至少第一部分，并且在第二互连级上制造所述一对歧管的第二部分，以及利用至少一个通孔将所述第一部分和所述第二部分耦合。

12.一种集成电路，包括：

在至少一个后端制程(BEOL)互连级中的电容器，所述电容器具有多个折叠电容器叉指、以及在所述折叠电容器叉指的多个侧面的同一侧上的一对歧管，所述多个电容器叉指具有所述多个侧面，所述一对歧管中的每个歧管均耦合到所述多个折叠电容器叉指中的至少一个折叠电容器叉指；和

用于存储在至少一个不同的BEOL互连级内的磁场中的电能的装置，所述电能存储装置与所述电容器的至少一部分重叠。