[发明专利]分隔壁图案膜及其制造方法

权利要求书

1.一种分隔壁图案膜，包括：

透明基底；

设置在所述透明基底上的第一电极层；

设置在所述第一电极层上的分隔壁图案；和

设置在所述分隔壁图案的整个上表面和至少部分侧表面上的第二电极层图案，

其中所述第二电极层图案的厚度为200nm至2μm，其中从所述分隔壁图案的上表面向下，设置在所述分隔壁图案的至少部分侧表面上的所述第二电极层图案的区域为2μm至通过从所述分隔壁图案的线高度减去2μm而产生的值。

2.根据权利要求1所述的分隔壁图案膜，其中所述第一电极层包含透明导电氧化物，以及所述第二电极层图案包含金属或金属合金。

3.根据权利要求2所述的分隔壁图案膜，其中所述第一电极层包含铟氧化物、锌氧化物、铟锡氧化物、铟锌氧化物和铟锌锡氧化物中的一者或更多者。

4.根据权利要求2所述的分隔壁图案膜，其中所述第二电极层图案包含金、银、铝、铜、钕、钼、镍、或其合金。

5.根据权利要求1所述的分隔壁图案膜，其中所述分隔壁图案的线高度为5μm或更大。

6.根据权利要求1所述的分隔壁图案膜，其中所述分隔壁图案的线宽度为30μm或更小。

7.根据权利要求1所述的分隔壁图案膜，其中所述分隔壁图案的线间距为100μm至1000μm。

8.根据权利要求1所述的分隔壁图案膜，其中在所述分隔壁图案膜上还设置有电极绝缘层。

9.一种制造分隔壁图案膜的方法，所述方法包括：

在第一透明基底上形成第一电极层；

在所述第一电极层上形成分隔壁图案；以及

在所述分隔壁图案的整个上表面和至少部分侧表面上形成第二电极层图案，

其中所述第二电极层图案的形成包括：

在第二透明基底上形成第二电极层；

通过将形成有所述第二电极层的所述第二透明基底和形成有所述分隔壁图案的所述第一透明基底层合，使得所述第二电极层与所述分隔壁图案彼此接触，来在所述分隔壁图案的整个上表面和至少部分侧表面上形成所述第二电极层图案；以及

除去形成有第二电极层的所述第二透明基底，以及烧制形成在所述分隔壁图案的整个上表面和至少部分侧表面上的所述第二电极层图案，

其中所述第二电极层图案的厚度为200nm至2μm，其中从所述分隔壁图案的上表面向下，设置在所述分隔壁图案的至少部分侧表面上的所述第二电极层图案的区域为2μm至通过从所述分隔壁图案的线高度减去2μm而产生的值。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括：

在所述第二电极层图案的形成之后在所述分隔壁图案膜上形成电极绝缘层。

11.一种可变透射率膜，包括根据权利要求1至8中任一项所述的分隔壁图案膜。

12.根据权利要求11所述的可变透射率膜，其中所述可变透射率膜通过电泳而工作。