[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板结构，所述膜片与所述背极板结构之间彼此间隔，所述膜片的第一表面与所述背极板结构的第一表面彼此相对；以及

贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，

其特征在于，所述膜片的第一表面设置有与所述背极板结构连接的第一连接部。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片包括：

中间部分；以及

围绕所述中间部分的周边部分。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述第一连接部位于所述膜片的中间部分。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一连接部为所述膜片的第一表面上的凸起，所述凸起与所述背极板结构的第二连接部嵌套连接，所述第二连接部为第二保护层贯穿所述背极板结构的第一表面所形成。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二连接部覆盖所述第一连接部的侧面和部分上表面。

6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板结构包括：

背极板电极，所述背极板电极的第一表面与所述膜片的第一表面相对；

第一保护层，位于所述背极板电极与所述膜片之间；以及

所述第二保护层，位于所述背极板电极的第二表面上方。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板结构还包括：

多个限位柱，所述多个限位柱位于所述背极板结构的第一表面，所述限位柱与所述膜片之间存在间隔。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述限位柱为所述第二保护层贯穿所述背极板结构并沿所述背极板结构第一表面向下延伸的部分。

9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述多个限位柱位于所述膜片周边部分的上方。

10.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板电极位于所述膜片的可动区域上方，并且所述背极板电极的面积小于等于所述膜片的可动区域的面积。

11.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板电极的面积小于等于所述声腔的最小横截面积。

12.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片还包括：

弹簧结构，用于连接所述膜片的中间部分和周边部分，所述弹簧结构为同心环形的褶皱部分或者螺旋状的褶皱部分。

13.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片的周边部分的部分区域为不连续区域。

14.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

位于所述衬底第一表面上方的第一隔离层，所述声腔贯穿所述第一隔离层，以使得所述膜片的整个第二表面暴露；以及

位于所述第二保护层和所述第一隔离层之间的第二隔离层，所述第二保护层位于所述第二隔离层远离所述第一隔离层的上方。

15.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一保护层在面对所述膜片的第一表面的表面上形成多个突起物，以防止所述背极板电极与所述膜片之间的粘连。

16.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二保护层作为所述背极板电极的机械支撑层以提供刚度，使得所述背极板电极在工作状态下维持为无形变状态。