[实用新型]一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉

说明书

本实用新型公开了一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N₂O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产领域，特别涉及一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉。

背景技术

随着能源问题的日益突出，太阳能作为一种可再生的清洁能源，越来越受到人们的关注，太阳电池的应用前景也越来越广泛。晶体硅太阳电池一直是太阳电池领域的主力军，特别单晶硅电池转换率高于多晶硅，受到青睐。但是国内民用太阳能电池的普及率依然很低，原因还是在太阳能电池生产成本过高，理论上理想的生产工艺与产业化生产差距大，成品良率低，电池转换效率也与理论相差大，电池安装成本高等。因此降低制造成本和提高转化率是太阳电池制造行业的努力方向。

电池片在生产过程中，需要在硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。此减反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的体钝化和表面钝化，以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性，在硅片表面形成保护层。电池片的PECVD工序一般通过PECVD机完成，PECVD机在石英管的两端通微波源，表面抽真空的条件下将氨气和硅烷分解成高能离子状态，经过一系列化学反应转变成氮化硅气体，在硅片表面沉积氮化硅固态薄膜，同时分解出来的氢离子，将硅片表面原有缺陷钝化。

实用新型内容

针对以上现有技术存在的缺陷，本实用新型的主要目的在于克服现有技术的不足之处，公开了一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，包括炉管、换热机构和抽气机构，所述炉管包括石英内层、加热层和保温外层，所述炉管的炉口端设置进气口，所述抽气机构设置在所述炉管的尾端，利用所述抽气机构对所述炉管内抽气，以促进炉管内气体流动；所述换热机构将所述炉管内炉口端的气体传送至所述炉管的尾端。

进一步地，所述加热层有依次设置的五个独立控制的电热丝组成，并且通过热电偶进行实时测温。

进一步地，所述抽气机构包括抽气泵和抽气管，所述抽气管沿所述炉管尾端的周向设置四个抽气口。

进一步地，所述保温外层为玻璃纤维棉。

进一步地，所述换热机构包括换热管和换热抽气泵，所述换热抽气泵通过所述换热管将所述炉管的炉口端与尾端连接。

进一步地，所述炉管的炉口端沿其侧壁轴向设置若干个换热孔，所述换热孔与所述换热管连接。

本实用新型取得的有益效果：

本实用新型中通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N₂O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。

附图说明

图1为本实用新型的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉的结构示意图；

附图标记如下：

1、炉管，2、换热机构，3、抽气机构，11、石瑛内层，12、加热层，13、保温外层，21、换热管，22、抽气泵，31、抽气泵，32、抽气管。

具体实施方式