[实用新型]一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉

权利要求书

1.一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，包括炉管、换热机构和抽气机构，所述炉管包括石英内层、加热层和保温外层，所述炉管的炉口端设置进气口，所述抽气机构设置在所述炉管的尾端，利用所述抽气机构对所述炉管内抽气，以促进炉管内气体流动；所述换热机构将所述炉管内炉口端的气体传送至所述炉管的尾端。

2.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述加热层有依次设置的五个独立控制的电热丝组成，并且通过热电偶进行实时测温。

3.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述抽气机构包括抽气泵和抽气管，所述抽气管沿所述炉管尾端的周向设置四个抽气口。

4.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述保温外层为玻璃纤维棉。

5.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述换热机构包括换热管和换热抽气泵，所述换热抽气泵通过所述换热管将所述炉管的炉口端与尾端连接。

6.根据权利要求5所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述炉管的炉口端沿其侧壁轴向设置若干个换热孔，所述换热孔与所述换热管连接。