[实用新型]一种驱动装置以及半导体工艺机台

权利要求书

1.一种驱动装置，用于驱动物体运动，其特征在于，包括动力缸、波纹管、连杆和保护罩；所述连杆的一端用于连接物体，另一端连接所述波纹管的一端，所述波纹管的另一端连接所述动力缸；所述保护罩设置在所述连杆上并遮盖所述波纹管。

2.根据权利要求1所述的一种驱动装置，其特征在于，所述保护罩与所述连杆为一体成型结构。

3.根据权利要求2所述的一种驱动装置，其特征在于，所述连杆包括一体成型的本体和连接部；所述连接部设置在所述本体的一端，所述连接部与所述波纹管连接，且横截面面积大于所述本体的横截面面积；其中，所述连接部被构造成所述保护罩，所述保护罩具有一端开口的内腔，所述波纹管设置在所述内腔中。

4.根据权利要求3所述的一种驱动装置，其特征在于，所述内腔形成有螺柱，且所述波纹管具有内螺纹孔，所述螺柱插入所述内螺纹孔进行螺纹连接。

5.根据权利要求3所述的一种驱动装置，其特征在于，所述连接部具有环形凹槽，用于与外部扳手相配合。

6.根据权利要求1或2所述的一种驱动装置，其特征在于，所述波纹管与所述动力缸之间设置一外部结构，所述外部结构将所述波纹管与所述动力缸隔开；

其中，所述波纹管的底部与所述外部结构密封连接；所述波纹管具有最短长度，当所述波纹管伸缩至所述最短长度时，所述保护罩的底部距离所述外部结构具有一安全距离。

7.根据权利要求6所述的一种驱动装置，其特征在于，所述安全距离大于0且不超过2mm。

8.一种半导体工艺机台，其特征在于，包括：

腔室；

设置在所述腔室内的保护环；以及

如权利要求1-7中任一项所述的一种驱动装置；

其中：所述动力缸设置在所述腔室的外部，所述波纹管和所述连杆均设置在所述腔室内，且所述波纹管的底部密封连接所述腔室；所述连杆竖直布置，上端与所述保护环连接，下端通过所述波纹管连接所述动力缸。

9.根据权利要求8所述的一种半导体工艺机台，其特征在于，所述波纹管具有最短长度，当所述波纹管伸缩至所述最短长度时，所述保护罩的底部距离所述腔室具有一安全距离。

10.根据权利要求8或9所述的一种半导体工艺机台，其特征在于，所述半导体工艺机台为刻蚀机台或沉积机台。