[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体、支撑底座，所述光刻机本体的下方设置有支撑底座，支撑底座的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的上端与光刻机本体固定连接，支撑底座的为圆形，支撑底座的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座内侧设置有若干个卡托件、托板一，托板一位于卡托件的下方，支撑底座的内底部设置有圆台，所述光刻机本体的一侧设置有控制件，控制件上设置有显示面板和操作面板，本实用新型多种卡接结构，对不同型号的晶圆进行卡接固定，且卡托件采用螺纹固定，便于取下。

技术领域

本实用新型涉及一种光刻装置，具体是一种电子元件生产的光刻装置。

背景技术

光刻机/紫外曝光机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

但是，现有的光刻装置不能对不同大小的晶圆进行固定，且支撑选用卡接的方式固定。因此，本领域技术人员提供了一种电子元件生产的光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种电子元件生产的光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体、支撑底座，所述光刻机本体的下方设置有支撑底座，支撑底座的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的上端与光刻机本体固定连接，支撑底座的为圆形，支撑底座的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座内侧设置有若干个卡托件、托板一，托板一位于卡托件的下方，支撑底座的内底部设置有圆台。

作为本实用新型再进一步的方案：所述光刻机本体的一侧设置有控制件，控制件上设置有显示面板和操作面板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述卡托件包括套管、托板二、滑杆、螺纹杆，套管的左端固定有螺纹杆，套管内环的设置有滑杆，滑杆的左侧设置有弹簧二，弹簧二的左端固定有连接板，连接板与套管固定，滑杆的右端固定有托板二和缓冲垫，缓冲垫位于托板二的上方。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑底座的内侧开设有若干个滑槽，滑槽内滑动设置有滑板，滑板的一侧固定有弹簧一，弹簧一与滑槽内壁固定。

作为本实用新型再进一步的方案：所述圆台的上端设置有保护垫，圆台的下端固定有圆柱，圆柱与支撑底座螺纹连接，保护垫8上端开设有圆槽，放置晶圆，对晶圆进行限位，防止偏移。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑底座的上端固定有若干个支撑足。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型多种卡接结构，对不同型号的晶圆进行卡接固定，且卡托件采用螺纹固定，便于取下。

2、本实用新型可以对晶圆进行卡接固定和圆台支撑，便于进行不同的操作。

附图说明

图1为一种电子元件生产的光刻装置的结构示意图。

图2为一种电子元件生产的光刻装置中卡托件结构示意图。

图3为一种电子元件生产的光刻装置中托板二的俯视结构示意图。