[实用新型]一种RFID标签固晶用真空固晶平台有效
| 申请号: | 201922413568.7 | 申请日: | 2019-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN210897215U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
| 发明(设计)人: | 萧惇仁;张伟金;伯林 | 申请(专利权)人: | 扬州久元电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 潘云峰 |
| 地址: | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 rfid 标签 固晶用 真空 平台 | ||
1.一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,包括内部中空设置的固晶板,所述固晶板侧面均布有若干个与内部中空连通的气管接口,固晶板顶面均布有若干个与内部中空连通的气孔所述气管接口连接真空机构,所述固晶板通过螺栓固定在底座上。
2.根据权利要求1所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板两侧对称开设有与天线走向平行的条形通槽,所述条形通槽包括上部大腰圆孔以及下部的小腰圆孔,所述大腰圆孔和小腰圆孔中线重叠设置,螺栓穿过所述小腰圆孔固定所述固晶板。
3.根据权利要求1所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板两侧对称开设有调高螺孔,所述调高螺孔内设有用于微调所述固晶板高度的止付螺丝。
4.根据权利要求3所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板一侧设有两个所述调高螺孔,所述两个调高螺孔相对于所述固晶板中线对称。
5.根据权利要求1所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板顶面还开设有与所述气孔一一对应的贮料槽,所述气孔开设在所述贮料槽中心。
6.根据权利要求1所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板一侧面固定有角轮安装座,所述角轮安装座外侧面固定有一对角轮,所述角轮上滑动有胶头擦拭纸。
7.根据权利要求6所述的一种RFID标签固晶用真空固晶平台,其特征在于,所述固晶板一侧面两角开设有缺口,所述角轮安装座侧面设有与所述缺口匹配的凸块,且角轮安装座卡设在所述固晶板侧面并通过螺栓固定;所述角轮安装座外侧面两角设有用于安装所述角轮的安装槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





