[实用新型]一种红外锗单晶生长用直径测量装置有效
| 申请号: | 201922376038.X | 申请日: | 2019-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN211576049U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
| 发明(设计)人: | 李刚;雷同光;李燕 | 申请(专利权)人: | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号: | G01B5/08 | 分类号: | G01B5/08 |
| 代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 董李欣 |
| 地址: | 065001 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 红外 锗单晶 生长 直径 测量 装置 | ||
本实用新型涉及一种红外锗单晶生长用直径测量装置,包括竖直台和游标卡尺组件;所述游标卡尺组件包括主尺和游标,所述游标设置于主尺上,且与主尺滑动连接;所述游标设有镜头;所述镜头的光轴与所述主尺垂直,所述镜头的镜面设有单晶边缘对准标识;所述竖直台与所述主尺固定连接,且互成90°夹角。该直径测量装置采用L型结构,且通过镜头可准确定位锗单晶的左右边缘,可在拉制过程中准确测量锗单晶的直径,以解决现有技术中测量红外锗单晶的误差问题,且具有结构简单、操作方便的优点。
技术领域
本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体涉及一种红外锗单晶生长用直径测量装置。
背景技术
锗(Ge)在光学材料中,日益广泛地被用于红外、夜视技术中。锗属于第Ⅳ主族元素、金刚石结构,锗具有比较优越的物理和化学性质,其主要应用于半导体材料、红外光学材料、化工催化剂、医学应用及其他一些新用途领域,尤其是作为一种优异的红外光学材料使用。
红外锗单晶的拉晶过程需要在单晶炉内进行。但是拉晶开始时,需要观察记录单晶的直径数值,以确定等径时单晶的尺寸。由于直接把测量尺放置于观察窗上这种方法误差很大,所以需要一种新的测量方法来测量锗单晶直径,以保证拉制出来的单晶符合要求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种红外锗单晶生长过程中的直径测量装置,该直径测量装置采用L型结构,可在拉制过程中准确测量锗单晶的直径,以解决现有技术中用于测量红外锗单晶的装置的误差问题,且具有结构简单、操作方便的优点。
为此,本实用新型的第一方面,提供了一种红外锗单晶生长用直径测量装置,所述直径测量装置包括竖直台和游标卡尺组件;
所述游标卡尺组件包括主尺和游标,所述游标设置于主尺上,且与主尺滑动连接;
所述游标设有镜头;所述镜头的光轴与所述主尺垂直,所述镜头的镜面设有单晶边缘对准标识;
所述竖直台与所述主尺固定连接,且互成90°夹角。
进一步,所述游标还设有定位件,用于将所述游标固定于主尺上。
进一步,所述定位件为紧固调节螺钉。
进一步,所述主尺的长度为250-300mm,宽度为20-40mm,高度为20-40mm。优选地,所述主尺的长度为250mm,宽度为30mm,高度为30mm。
进一步,所述主尺的测量范围为0-170mm。
进一步,所述镜头的直径为25-30mm,优选为27mm。
进一步,所述镜头上的单晶边缘对准标识为自定义符号,例如点、竖直或水平的线段等;当所述单晶边缘对准标识为线段时,其长度适配于所述镜头的直径,在具体实施方式中,其长度为5mm。
进一步,所述镜头与所述主尺之间的距离为8-15mm,优选为10mm。
进一步,所述竖直台的高度为120-150mm,长度为20-40mm,宽度为20-40mm。优选地,所述竖直台的高度为140mm,长度为30mm,宽度为30mm。
进一步,所述竖直台和主尺的材质可选用不易变形的硬质材料制成,例如碳钢、不锈钢、铸铁等,优选为铸铁。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型提供的红外锗单晶生长用直径测量装置采用L型结构,且通过镜头可准确定位锗单晶的左右边缘,从而可在锗单晶的拉制过程中准确测量其直径,直径测量误差小于1mm。该直径测量装置的结构简单、操作方便,有利于提高生产效率,并且具有良好的耐磨性,可以长期使用免于维护,延长了直径测量装置的使用寿命。
附图说明
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