[实用新型]一种固体MO源钢瓶

权利要求书

1.一种固体MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的MO源钢瓶本体，其特征在于，所述MO源钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，所述同轴内衬套瓶将所述MO源封装空间分隔为外周MO源封装空间和内周MO源封装空间；其中，

所述外周MO源封装空间的下端包括第一锥面，所述内周MO源封装空间的下端采用第二锥面，所述第二锥面的锥度大于所述第一锥面的锥度，且所述外周MO源封装空间底部与所述内周MO源封装空间底部连通；

所述MO源钢瓶本体的上端部分别设置惰性气体进气管、MO源出气管、第一MO源充装口和第二MO源充装口，所述惰性气体进气管和所述第一MO源充装口分别与外周MO源封装空间连通，所述MO源出气管和所述第二MO源充装口分别与所述内周MO源封装空间连通；

所述惰性气体进气管和MO源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和MO源控制开关阀。

2.根据权利要求1所述的固体MO源钢瓶，其特征在于，所述同轴内衬套瓶密封焊接在所述MO源钢瓶本体的上端部内侧，包括连接为一体的位于上方的圆柱型内衬和位于下方的锥面内衬，该锥面内衬作为所述第二锥面，其中，所述锥面内衬的下端部还一体连接有圆柱导向内衬端口，所述锥面内衬的高度大于所述圆柱导向内衬端口的高度且小于所述圆柱型内衬的高度，且所述圆柱导向内衬端口与所述外周MO源封装空间底部具有用于连通的通道。

3.根据权利要求2所述的固体MO源钢瓶，其特征在于，所述圆柱型内衬的高度范围为5-30cm，所述锥面内衬的高度范围为1-10cm，所述圆柱导向内衬端口的高度范围为0.2-1cm。

4.根据权利要求1所述的固体MO源钢瓶，其特征在于，所述第一锥面的高度大于所述第二锥面的高度。

5.根据权利要求2所述的固体MO源钢瓶，其特征在于，所述圆柱型内衬的上端设有用于与所述外周MO源封装空间连通的连通口。

6.根据权利要求1所述的固体MO源钢瓶，其特征在于，所述第一锥面的锥度为30-50゜，所述第二锥面的锥度为40-70゜。