[实用新型]一种退火设备

权利要求书

1.一种退火设备，其特征在于，包括：

退火腔室(1)，用于放置硅片组(100)，所述硅片组(100)包括叠垛的多个待退火硅片；

冷却机构(3)，其包括设置于所述退火腔室(1)内的恒温箱(31)，所述恒温箱(31)的四周壁为中空结构，所述恒温箱(31)的四周壁内盛放有冷却液，所述硅片组(100)位于所述恒温箱(31)内；

电极机构(2)，其包括分别设置于所述退火腔室(1)内顶面的上电极板(21)和位于所述恒温箱(31)内底面的下电极板(22)，所述上电极板(21)能够与所述硅片组(100)中位于最上层的所述待退火硅片的表面相抵接，所述下电极板(22)能够与所述硅片组(100)中位于最下层的所述待退火硅片的表面相抵接。

2.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述冷却机构(3)还包括恒温泵，所述恒温泵的出口与所述恒温箱(31)的进口相连通，所述恒温泵的进口与所述恒温箱(31)的出口相连通。

3.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述冷却机构(3)还包括设置于所述退火腔室(1)上部的抽风组件。

4.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括硅片放置架(4)，所述硅片放置架(4)设置于所述退火腔室(1)内，用于承载所述硅片组(100)。

5.根据权利要求4所述的退火设备，其特征在于，所述硅片放置架(4)包括：

容纳框(41)；

第一导电板(42)，其设置于所述容纳框(41)内，所述硅片组(100)放置于所述第一导电板(42)上，所述第一导电板(42)的下表面能与所述下电极板(22)相抵接。

6.根据权利要求5所述的退火设备，其特征在于，所述硅片放置架(4)还包括多个限位支架(43)，多个所述限位支架(43)沿所述容纳框(41)的周向间隔设置，所述硅片组(100)容纳于多个所述限位支架(43)围设的容纳空间内。

7.根据权利要求4所述的退火设备，其特征在于，所述退火腔室(1)内还设置有传输组件(11)，所述传输组件(11)用于带动所述硅片放置架(4)进出所述退火腔室(1)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的退火设备，其特征在于，所述硅片组(100)的上表面还设置有第二导电板，所述第二导电板的上表面能与所述上电极板(21)相抵接。

9.根据权利要求1-7任一项所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括高度调节机构(5)，所述高度调节机构(5)用于调节所述上电极板(21)和所述下电极板(22)之间的距离，以使所述硅片组(100)被夹持于所述上电极板(21)和所述下电极板(22)之间。

10.根据权利要求9所述的退火设备，其特征在于，所述高度调节机构(5)包括：

上调节组件(51)，其用于驱动所述上电极板(21)升降；和/或

下调节组件(52)，其用于驱动所述下电极板(22)升降。