[实用新型]一种用于基板生产的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，包括输送机构(1)和夹持件(2)，所述夹持件(2)卡合连接在所述输送机构(1)上，所述输送机构(1)包括主动轮(11)、从动轮(12)和传送带(13)，所述主动轮(11)与所述从动轮(12)通过所述传送带(13)传动连接；所述夹持件(2)包括夹持板(21)和四个夹持侧件(5)，所述夹持板(21)的上端面中心处开设有卡槽(22)，四个所述夹持侧件(5)分别固定安装在所述夹持板(21)的上端面两侧，且两个所述夹持侧件(5)之间相对应，所述夹持侧件(5)包括夹持侧板(51)和转动轮(52)，所述转动轮(52)转动连接在所述夹持侧板(51)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述夹持侧板(51)上开设有与所述转动轮(52)相适配的转动槽(511)，所述转动轮(52)转动连接在所述转动槽(511)。

3.根据权利要求2所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述转动轮(52)的外壁粘接固定有橡胶垫(53)，所述橡胶垫(53)的外壁固定安装有凸起(54)，所述转动轮(52)的两端固定安装有转轴(55)，所述转动轮(52)通过所述转轴(55)转动连接在所述转动槽(511)内。

4.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述传送带(13)上固定安装有若干个连接槽(14)，所述夹持板(21)的底部固定安装有与所述连接槽(14)相适配的卡块(23)，所述夹持件(2)通过所述卡块(23)卡合固定在所述传送带(13)的上端面。

5.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述夹持侧板(51)为弹性片。

6.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述输送机构(1)的前后两侧安装有两个加热器(3)和两个靶材(4)，且所述加热器(3)位于所述靶材(4)的输送前端。

7.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述输送机构(1)安装在真空室内。