[实用新型]一种基于光电反馈的谐振式扫描镜有效
| 申请号： | 201922073796.4 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210776030U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 夏长锋;何耀军;宋秀敏;郑文会;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;H03L7/16 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光电 反馈 谐振 扫描 | ||
1.一种基于光电反馈的谐振式扫描镜，包括扫描镜、扫描镜驱动模块及控制器，所述扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，所述扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；
其特征在于：还包括光发射模块以及光接收模块；
所述光发射模块用于产生准直光源，并发射准直光源至扫描镜背面；
所述光接收模块用于接收经扫描镜背面反射的光束，并将反射光束转换为同步扫描电脉冲信号；
所述光接收模块的输出端与控制器的输入端电连接。
2.根据权利要求1所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光接收模块包括光电探测器、窄带滤光片及信号滤波整形电路；
所述光电探测器位于扫描镜反射光线的反射光路中，将反射的瞬时光扫描信号转换为同步扫描电流脉冲信号；
所述窄带滤光片用于滤除上述光发射模块光源波长外的干扰光；
所述信号滤波整形电路用于滤除光电探测器输出的同步扫描电脉冲信号噪声并将其调制为标准电平脉冲信号；所述信号滤波整形电路的输入端与光电探测器的信号输出端相连，所述信号滤波整形电路的输出端与控制器的输入端电连接。
3.根据权利要求2所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光电探测器至少为两个，将两个光电探测器定义为第一光电探测器与第二光电探测器；
所述第一光电探测器位于扫描镜扫描角度为零度反射光线的反射光路中；
所述第二光电探测器位于扫描镜扫描角度为最大角度反射光线的反射光路中。
4.根据权利要求3所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述信号滤波整形电路包括电连接的低通滤波电路，放大电路与电压比较电路。
5.根据权利要求2所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光发射模块包括光源、光源驱动电路、光功率稳定电路以及光学透镜；
所述光源驱动电路与光功率稳定电路电连接；所述光源驱动电路用于驱动光源发射激光；所述光功率稳定电路用于维持光功率稳定；所述光学透镜用于准直激光。
6.根据权利要求5所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光源为激光二极管，所述光学透镜为准直透镜。
7.根据权利要求1所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光接收模块包括光集成电路Photo IC与窄带滤光片。
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