[实用新型]一种大行程升降台

说明书

本实用新型公开了一种大行程升降台，包括底板，所述底板上固定有内壳体，所述内壳体外形呈凸字形，所述内壳体沿轴线中空设置，所述内壳体内壁上安装有电机，所述电机驱动连接有转轴，转轴通过轴承与所述内壳体连接，所述转轴沿轴线开有上下贯通的通孔，所述通孔上方固定连接有螺纹块，所述螺纹块沿轴线上下贯通且螺纹连接有丝杆，所述丝杆下端在所述通孔内上、下运动，所述丝杆上端伸出所述内壳体设置。本实用新型利用旋转电机、螺纹块和丝杆实现升降，结构紧凑，行程较大，能够达到20mm‑50mm的范围，实用性强，承载力强，精度高。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，具体是一种大行程升降台。

背景技术

在半导体加工行业中，一般要用到升降台做辅助设备，而在半导体的加工过程中，对升降台的行程范围有很大的要求，如果行程较小，就会使得升降台的适应范围较窄。现在行业中，为了提高半导体的加工效率以及降低成本，会要求升降台有较大的行程，使之能够适用于各种半导体的加工场合，但是目前升降台为了提高精度而会降低其行程范围，目前使用的半导体升降台的运动精度，在符合半导体行业的行程下，大概是在10mm这个级别，而且承载能力较差，此种范围并不能满足大行程的场合。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种大行程升降台，本实用新型利用旋转电机、螺纹块和丝杆实现升降，结构紧凑，行程较大，能够达到20mm-50mm的范围，实用性强，承载力强，精度高。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种大行程升降台，包括底板，所述底板上固定有内壳体，所述内壳体外形呈凸字形，所述内壳体沿轴线中空设置，所述内壳体内壁上安装有电机，所述电机驱动连接有转轴，转轴通过轴承与所述内壳体连接，所述转轴沿轴线开有上下贯通的通孔，所述通孔上方固定连接有螺纹块，所述螺纹块沿轴线上下贯通且螺纹连接有丝杆，所述丝杆下端在所述通孔内上、下运动，所述丝杆上端伸出所述内壳体设置；

所述丝杆的上端连接有顶盖，所述顶盖呈倒置的凸字形结构，所述顶盖外侧设有升降外壳，所述升降外壳的下部边缘处延伸设有护板，所述护板围绕所述内壳体的凸字形上部设置，所述护板与所述内壳体互相不接触设置；

所述内壳体外部固定有外壳体，所述护板与所述外壳体之间设有导轨，所述护板沿着所述导轨上、下运动。

进一步地，所述底板上安装有过激磁安全刹车器。

进一步地，所述外壳体的两个相对侧面的上端部向内设有折边，所述折边与所述护板互相不接触设置；所述外壳体的另外两个相对侧面上各自设有两个导轨。

进一步地，所述导轨采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述电机采用旋转电机。

进一步地，所述顶盖通过螺栓固定在所述升降外壳上。

进一步地，所述外壳体内安装有接头。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型利用旋转电机加丝杠实现升降功能，利用四周四幅高精度交叉滚珠导轨定位，使达到很高的运动精度；

2、本实用新型在转轴内开设通孔，使得丝杆在通孔内上下运动，给丝杆提供足够的运动空间，增大丝杆的行程范围；

3、本实用新型在升降外壳得到外侧设置护板，护板在内壳体的外侧，既能够保证内部转轴、丝杆等，也能够保证升降外壳不会偏斜，保证上下竖直运动；

4、本实用新型在底部安装掉电保护装置，保证本实用新型的安全使用；

5、本实用新型在两侧各自设置两个交叉滚柱导轨，进一步保证竖直运动。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的升降台示意图；