[实用新型]一种硅片加工用均胶机

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座。通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种硅片加工用均胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，主要将基片上涂覆一层光刻胶。

现有均胶机的工作原理为，将硅片防止在均胶机的加工台上，然后用胶枪，使胶水滴落在基片上，然后启动真空泵将均胶机内部的空气抽出，然后加工台带动硅片旋转，利用离心力的作用，将胶水均匀涂覆在硅片上，现有硅片在安装时，大多是直接放置在加工台上，然后再由加工台上的吸气管，将硅片吸附在加工台上，吸气管与真空泵相连，当硅片在旋转时，部分多余的胶水会流至硅片的底部，胶水受到重力的影响，再加上真空泵始终处于工作状态，产生的吸力，也会将部分胶水通过吸气管吸附至泵体内，导致泵体内含有大量杂质，同时胶水的吸入，也会造成吸气管堵塞，导致均胶机内部的空气无法排出，且吸气管堵塞后，也无法将硅片牢牢吸附在加工台上，导致硅片在旋转时，无法均匀做圆周运动，偏移加工台的轴心，更严重时，将会导致硅片从加工台上直接甩出的，造成硅片受力破损，影响硅片的加工和均胶机的后续使用。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片加工用均胶机，具备校正硅片位置、吸附稳定的优点，解决了硅片偏移、硅片脱落的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座，所述定位座内转动连接有定位杆，所述定位杆上安装有定位块，所述定位块的端部安装有滑动块，所述滑动块上转动连接有滑动杆，所述滑动杆的端部贯穿并延伸至机体的外部，所述螺纹杆的内壁固定连接有充气筒，所述充气筒上滑动安装有竖杆，所述竖杆的端部固定连接有活塞，所述活塞的侧面与充气筒的底壁之间安装有弹簧，所述充气筒的端部连通有吸盘。

优选的，所述机体的两侧固定安装有支撑架，所述支撑架上转动安装有把手，所述把手上安装有位于支撑架内部的主动轮，所述主动轮的外齿啮合连接有齿条，所述齿条的底部固定连接有支撑杆，所述支撑架与支撑杆的相接处开设有卡槽，卡槽的宽度与支撑杆的宽度相适配，支撑杆移动的长度小于卡槽的长度。

优选的，所述齿条的端部固定连接有固定块，固定块的外壁与支撑架的内壁滑动连接，所述齿条的另一端固定连接有磁块，所述磁块的数量为两个，另一个所述磁块与支撑架的侧壁固定连接，两个所述磁块为异级相吸状态。

优选的，所述支撑杆的底端固定连接有限位夹，所述限位夹的内壁固定安装有弹性夹，所述限位夹与弹性夹的形状均为弧形。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该硅片加工用均胶机，通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。