[实用新型]一种分体防污装置

说明书

本实用新型公开了一种分体防污装置，包括底板支柱、法兰座、支撑底板、防污板支柱，所述法兰座和阴极组装，阴极包括靶材、磁棒、驱动端和支撑端，所述靶材和磁棒一端连接驱动端，另一端连接支撑端，所述底板支柱紧固在法兰座上，所述底板支柱上支撑着支撑底板并用螺钉锁紧固定，所述防污板支柱组装在支撑底板上，所述防污板支柱支撑并用第一固定螺钉分别固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分别用第二固定螺钉固定在法兰座的法兰面上。本新型可可以不拆除靶材而实现防污板的清洁保养，且能够快捷拆除和安装防污板。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜机技术领域，尤其涉及一种分体防污装置。

背景技术

阴极是磁控溅射镀膜机中一个关键部件，阴极中的靶材表面在离子轰击后发生溅射，膜料离子在电场和磁场作用下沉积在基片表面，从而完成镀膜过程，在这个过程中，不可避免的有部分膜料溅射到不是基片的位置，所以围绕着阴极周边，设计防污板，避免阴极法兰座等不易拆卸的大型结构件内腔被污染。

在磁控溅射镀膜机使用过程中，随着工作时间持续，防污板表面上沉积了厚厚一层膜料层，防污板上膜料层会产生脱皮、废料颗粒等现象，影响镀膜机的成膜质量。

现有技术中，绝大多数需要拆解防污板清洁，大多数情况下，防污板拆下时，靶材尚未消耗殆尽，造成了靶材浪费，因此如何设计出在不拆靶材情况下拆解防污板，实现防污板和板材分体结构，且两者便于拆解和组装，成为了本领域的一个攻关课题。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供了一种分体防污装置，本装置可以不拆除靶材而实现防污板的清洁保养，且能够快捷拆除和安装防污板。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种分体防污装置，包括底板支柱、法兰座、支撑底板、防污板支柱，所述法兰座和阴极组装，阴极包括靶材、磁棒、驱动端和支撑端，靶材和磁棒连接为一体，所述靶材和磁棒一端连接驱动端，另一端连接支撑端，所述底板支柱紧固在法兰座上，所述底板支柱上支撑着支撑底板并用螺钉锁紧固定，所述防污板支柱组装在支撑底板上，所述防污板支柱支撑并用第一固定螺钉分别固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分别用第二固定螺钉固定在法兰座的法兰面上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本新型可以分解拆开，便于设备维护和保养，其中，底板支柱紧固在法兰座上，然后底板支柱支撑着支撑底板并用螺钉锁紧固定，防污板支柱组装在支撑底板上，防污板支柱支撑并用第一固定螺钉固定第一右防污板和第一左防污板、第二右防污板和第二左防污板、第三右防污板和第三左防污板，第四右防污板和第四左防污板、第五右防污板和第五左防污板分别用第二固定螺钉固定在法兰座的法兰面上。当法兰座和阴极（含靶材、磁棒、驱动端和支撑端）组装后，靶材溅射时会有部分膜料溅射到阴极法兰座上，为保持阴极法兰座内腔洁净，特设计一层防污板安装在法兰座内腔面上。靶材使用周期较长，当法兰座内腔防污板被膜料溅射到一定程度（靶材尚未消耗完毕，需要清洁防污板）后变脏，此时要将防污板取出喷砂脱脂洗净，这种分体防污板结构优点在于可以不拆除靶材而实现防污板的清洁保养，快捷拆除和安装防污板，且避免未用完的靶材浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1所示为本实用新型结构示意图；

图2所示为图1的B-B剖面图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述：