[实用新型]一种样品架传动机构

说明书

本实用新型公开了一种样品架传动机构，包括真空室上盖，所述真空室上盖的上端右部固定连接有传动机构，所述真空室上盖的中心固定连接有第二空心轴磁流体，所述第二空心轴磁流体的外表面中部固定连接有固定板，所述固定板的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖上端，所述第一空心轴磁流体的上端固定安装有膜厚仪探头，所述真空室上盖的下端固定连接有抓取机构。本实用新型所述的一种样品架传动机构，通过电机的驱动皮带轮的传动方式，可以很大程度的减小齿轮传动带来的震动，同时通过双空心轴磁流体密封，使膜厚仪探头位于样品架中心固定不动，提高设备可靠性，降低了磁流体内部对轴承的要求，无需选用真空高温轴承，节约生产成本。

技术领域

本实用新型涉及样品架领域，特别涉及一种样品架传动机构。

背景技术

在常用的超高真空测量设备中，多用平板样品架(托)进行对产品的转运，传入设备中进行测量，很多测量设备的样品加热台、旋转台等也都是基于平板样品架进行设计制作的。

现有的样品架传动机构以内部齿轮加轴承的形式样品架的传动运动，轴承的工作温度高而且相邻的齿轮磨损造成的杂质及碎屑较多，影响机构的使用寿命，增加维修成本，同时轴承的要求高，容易磨损价格昂贵，而电机的安装位置也要求很高，对安装上面存在一定的难度。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种样品架传动机构，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种样品架传动机构，包括真空室上盖，所述真空室上盖的上端右部固定连接有传动机构，所述真空室上盖的中心固定连接有第二空心轴磁流体，所述第二空心轴磁流体的外表面中部固定连接有固定板，所述固定板的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖上端，所述第二空心轴磁流体的轴心转动连接有连接轴，所述连接轴的下端螺纹连接有连接套，所述连接套的下端固定连接有样品架本体，所述连接轴的外表面上部固定连接有第一空心轴磁流体，所述第一空心轴磁流体的上端固定安装有膜厚仪探头，所述真空室上盖的下端固定连接有抓取机构。

优选的，所述第二空心轴磁流体的内部固定连接有内芯，所述内芯的下端内部固定安装有磁性液体，所述内芯的内部开设有冷却槽，所述冷却槽的左端固定连接有注水管，所述冷却槽的右端固定安装有出水管，且注水管、出水管均贯穿内芯和第二空心轴磁流体。

优选的，所述传动机构主要结构有电机，所述电机的输出轴上固定安装有第一皮带轮，所述第一空心轴磁流体的外表面中部固定连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮传动连接。

优选的，所述电机的下端固定连接在真空室上盖的上端右部，所述第一皮带轮和第二皮带轮的水平高度一致。

优选的，所述抓取机构主要结构有固定套和旋转套，所述固定套的内部固定连接有弹簧，所述弹簧的下端固定连接有抓取杆，所述抓取杆的表面上部滑动连接在固定套内部，所述抓取杆的下端固定连接有吸盘，所述旋转套的表面开设有波浪槽，所述旋转套的上端固定连接在连接轴的下端，所述固定套的上端固定连接在真空室上盖的下端。

优选的，所述抓取杆的外表面右端固定连接有连接杆，所述连接杆的右端滑动连接在波浪槽的内壁。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过电机的驱动皮带轮的传动方式，可以很大程度的减小齿轮传动带来的震动，减轻震动带来的转动影响，同时通过双空心轴磁流体密封，使膜厚仪探头位于样品架中心，且固定不动，提高设备可靠性，降低了磁流体内部对轴承的要求，无需选用真空高温轴承，节约生产成本。

2、通过连接轴带动旋转套旋转，而波浪槽将带动着抓取杆进行上下位移的抓取动作，实现对样品架上方的物体的抓取，而该装置可应用于同类带有转盘的电子束镀膜、蒸发镀膜及磁控镀膜设备，适用范围广。

附图说明