[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201921820841.1 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN212357371U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王军;何茵 | 申请（专利权）人： | 浙江三海微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 马晨博 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 磁控溅射 镀膜 | ||
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体、抽真空机构以及与工件架，其特征在于,所述工件架设置在所述真空箱体上端内部，所述工件架通过转动轴与设置在真空箱体上端的驱动电机相连接，所述工件架包括工件杆、工件圆盘以及工件中心杆，所述工件杆呈环形设置在所述工件圆盘，所述工件圆盘的圆心固定连接工件中心杆，所述工件杆为伸缩设置，所述工件杆远离中心圆盘对的一端设置工件安置架，所述工件安置架设置有中间杆以及分支架。
2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述真空箱体包括真空风口，所述真空风口设置在所述真空箱体内壁上，所述抽真空机构通过真空管道与所述真空风口连接。
3.根据权利要求2所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述工件架通过所述工件中心杆与所述转动轴相连接，所述转动轴底端设置有开口，所述工件中心杆顶端设置有环扣。
4.根据权利要求3所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述分支架包括轴向均布的安置杆，所述分支架中心设置有可以穿过所述中间杆的通孔。
5.根据权利要求4所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述工件中心杆通过所述环扣扣住所述转动轴上的开口形成可拆卸连接；所述转动轴上套设置有稳定装置，所述稳定装置包括外筒、内筒以及稳定珠，所述内筒设置在外筒内，且之间设置若干个稳定珠。
6.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述工件杆至少设置有两杆，所述工件安置架至少设置有两个，且所述工件杆与所述工件圆盘可拆卸连接，所述工件安置架与所述工件杆可拆卸连接。
7.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述驱动电机通过固定架设置在所述真空箱体顶部。
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