[实用新型]用于硅片的插片装置

权利要求书

1.一种用于硅片的插片装置，其特征在于：包括支架以及设置在支架上的水箱，所述水箱的端口处设有朝向水箱内倾斜的导流板，所述导流板上等间设有贯穿导流板两端的多个第一凹槽，多个所述第一凹槽朝向水箱内设置，所述导流板远离水箱的端口处设有与第一凹槽垂直的第二凹槽，所述第二凹槽同时连通多个第一凹槽，所述第二凹槽底部设有进水口，所述水箱上方的机架上设有与导流板垂直的电缸，所述电缸通过滑块连接有可上下移动的摆臂，所述摆臂可延伸至水箱内，所述摆臂底部垂直设有与导流板衔接的底板，所述底板上托举有硅片料框。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的插片装置，其特征在于：所述支架上水平延伸有凸台，所述凸台设置在导流板下方，所述凸台上设有支撑导流板底部的支撑块。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的插片装置，其特征在于：所述底板与摆臂一体成型。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片的插片装置，其特征在于：所述水箱的底面倾斜设置，所述水箱内设有均流盘，所述水箱底部侧壁上开设有出水口。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片的插片装置，其特征在于：所述机架底部设有滚轮。