[实用新型]一种高真空动密封复合运动馈入装置

说明书

本实用新型属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。

技术领域

本实用新型涉及真空动密封装置技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。

背景技术

真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象，根据气体压力的高低，可分为低真空、中真空、高真空、超高真空、极高真空等不同的等级。随着科技发展，真空技术及应用也越来越广泛，覆盖了工业、民用、科研和军工等各个领域。有些是利用真空环境来实现某些工艺环节的制作，如镀膜、干燥、等离子体清洗、3D打印等。有些是直接利用真空制造产品，如真空器件、高能粒子加速器等。

真空技术中关键的就是真空获得及维持。一般来说，真空获得及维持主要由两个方面决定，一方面是真空系统的抽气能力，主要由各种不同类型的真空泵来完成，将系统气体排出；另一方面就是系统的真空密封，保证外部大气进入真空系统的气体量足够小，即真空漏率达到一定的要求。根据连接件之间是否存在运动，可将真空密封分为静密封和动密封两种。真空动密封除保证一定真空漏率的要求外，还要求有足够的强度、寿命、密封的可靠性和合理的外形尺寸等。

目前，国内较常采用的真空动密封主要是橡胶圈动密封、波纹管动密封结构、磁力传动动密封以及磁流体真空动密封等构件。由于橡胶本身的物理机械性能和气体渗透性的原因，温度收到一定的限制，且一般只适用于10^-5Pa以下的真空动密封中；波纹管密封传动机构由于密封可靠、耐烘烤等特性，被广泛地用于超高真空中，一般主要进行高精度轴线方向直线运动的传动密封；利用磁力进行力矩传动的磁力驱动动密封装置，不适合重载传动，且在高温等特殊条件下传动精度也难以保证；磁流体密封技术具有无固体摩擦、无机械磨损,可实现高转速传动,可以采用刚性轴传动,具有高精度、大力矩传动特点。本实用新型结合各种不同真空动密封的优点，提出了一种用于真空系统复合运动馈入的装置。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

鉴于上述和/或现有的真空设备复合运动馈入装置中存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型的目的是提供一种高真空动密封复合运动馈入装置，能够解决现有的真空设备复合运动馈入时动密封存在传动精度、载荷、可靠性等存在问题。

一种高真空动密封复合运动馈入装置，其包括：磁流体、导轨组件、波纹管组件、密封件和真空系统接口，所述导轨组件设于所述磁流体与所述波纹管组件外侧，所述真空系统接口设于所述波纹管组件底部，且所述真空系统接口与所述波纹管组件密封连接。

作为本实用新型所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述磁流体包括输入轴和输出轴，所述磁流体端部设有标准真空CF法兰。

作为本实用新型所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置的一种优选方案，其中：所述波纹管组件包括顶部连接法兰和底部连接法兰，所述波纹管组件外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰，所述底部连接法兰固接于所述波纹管组件底部。