[实用新型]一种高真空动密封复合运动馈入装置有效
| 申请号： | 201921761332.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN210600185U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李赟 | 申请（专利权）人： | 西安中科英威特光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43;F16J15/54;F16J15/16 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 戴丽伟 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区细*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 密封 复合 运动 装置 | ||
1.一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，包括：磁流体(100)、导轨组件(200)、波纹管组件(300)、密封件(400)和真空系统接口(500)，所述导轨组件(200)设于所述磁流体(100)与所述波纹管组件(300)外侧，所述真空系统接口(500)设于所述波纹管组件(300)底部，且所述真空系统接口(500)与所述波纹管组件(300)密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述磁流体(100)包括输入轴(110)和输出轴(120)，所述磁流体(100)端部设有标准真空CF法兰。
3.根据权利要求1所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述波纹管组件(300)包括顶部连接法兰(310)和底部连接法兰(320)，所述波纹管组件(300)外侧壁顶部设置所述顶部连接法兰(310)，所述底部连接法兰(320)固接于所述波纹管组件(300)底部。
4.根据权利要求3所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述导轨组件(200)包括连接板(210)和导轨滑块(220)，所述连接板(210)设于所述顶部连接法兰(310)外侧壁，所述连接板(210)另一侧固接所述导轨滑块(220)，所述导轨组件(200)还包括导轨固定板(230)和导轨(240)，所述导轨固定板(230)固接于所述底部连接法兰(320)外侧壁，所述导轨固定板(230)内侧设所述导轨(240)，所述导轨(240)与所述导轨滑块(220)滑动连接，且所述导轨(240)两端部设置有限位块。
5.根据权利要求4所述的一种高真空动密封复合运动馈入装置，其特征在于，所述密封件(400)包括无氧铜密封圈一(410)和无氧铜密封圈二(420)，所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封连接，且所述顶部连接法兰(310)与所述磁流体(100)端部密封面采用所述无氧铜密封圈一(410)进行密封，所述底部连接法兰(320)与所述真空系统接口(500)采用标准真空CF法兰连接，同时采用所述无氧铜密封圈二(420)进行真空密封。
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